Occasion VARIAN E19002442-2 #9037843 à vendre en France

VARIAN E19002442-2 est un implant et un moniteur ionique de pointe, conçu pour l'implantation précise d'ions dans des matériaux pour de nombreuses applications dans les industries des semi-conducteurs et de la microfabrication. Il s'agit d'un dispositif automatisé basé sur une source d'ions d'émission de champ et une ligne de faisceau en ligne avec quatre chambres d'analyse et de simulation entièrement programmables. Le processus d'implantation est contrôlé électroniquement, ce qui permet une implantation précise des ions sélectionnés, sans intervention manuelle. E19002442-2 est équipé d'un système optique ionique haute résolution qui assure un contrôle précis du faisceau d'ions lors de l'implantation, assurant une implantation précise des ions jusqu'à la profondeur cible. Il dispose également d'une ligne de faisceau en ligne, qui est utilisé pour surveiller le processus d'implantation d'ions. Cela comprend un spectromètre, un filtre de collision et des détecteurs qui mesurent les paramètres du faisceau et permettent une analyse automatisée et une rétroaction pendant l'implantation. VARIAN E19002442-2 est capable d'implanter une grande variété d'éléments et de cocktails contenant entre 1 et 8 éléments. Il peut produire une large gamme d'énergies d'implantation dans la gamme de 0-4 keV et peut produire des doses de 1 × 1015 à 5 × 1018 par cm2 par seconde. Il dispose également d'un système de sécurité bien conçu avec un E-PROM, qui stocke tous les paramètres de fonctionnement au préalable et dispose de protections supplémentaires pour éviter les dysfonctionnements. E19002442-2 fournit une implantation ionique de haute précision, avec une distribution de dose uniforme, une accélération basse tension, un balayage précis du faisceau et une grande précision dans le courant du faisceau. Le dispositif peut être utilisé dans la recherche et le développement de substrats implantés en silicium, ainsi que pour la réalisation de plaquettes dans le domaine de la MEMS et de la microlithographie. Il est également utilisé dans la production en masse de puces en microélectronique VLSI et ULSI. VARIAN E19002442-2 offre un meilleur débit par rapport aux implantateurs standard de l'industrie, grâce à ses systèmes numériques puissants. Il est actuellement utilisé dans le monde entier dans diverses applications nécessitant une implantation ionique de haute précision, y compris la fabrication de circuits intégrés de haute qualité, de plaquettes semi-conductrices et d'autres matériaux de microfabrication.