Occasion VARIAN E19013590 #148786 à vendre en France

VARIAN E19013590 est un implant et un moniteur ionique de pointe conçu pour des applications de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il combine une technologie sophistiquée d'implantation et de surveillance des ions pour permettre une exploitation rentable et performante dans une grande variété d'applications. L'équipement utilise une nouvelle technologie de surveillance des taches de faisceau tout-en-un qui peut mesurer le diamètre du faisceau en temps réel, fournissant des résultats fiables et reproductibles. Le système est équipé d'une surface de balayage de 1000x1000mm et d'un étage Wafer de 500mm adapté à une variété de configurations d'appareils et de temps de traitement. Il se compose d'une source d'ions de 400mm de faible énergie qui est utilisée pour générer le faisceau d'ions désirés, un filtre optique et un moniteur de faisceau pour assurer l'intensité optimale du faisceau, sa propagation et sa transmission. Il dispose également d'une unité de contrôle de processus intégrée avec une boucle de rétroaction qui permet aux utilisateurs d'ajuster les paramètres de processus pendant l'implantation. La machine de contrôle des processus comprend également une gamme de modèles prédéfinis qui peuvent être personnalisés en fonction des besoins spécifiques des utilisateurs. E19013590 est conçu pour fournir une qualité et un débit optimisés dans les implants ioniques à dose moyenne à élevée. Il est capable de produire un débit de dose de faisceau de 0,1 à 10keV, avec une énergie de faisceau maximale de 400keV. L'outil est capable de doper jusqu'à 20 couches en même temps avec un contrôle exact de la dose du faisceau et un mode pulsé à haute énergie jusqu'à 50 impulsions par seconde. Il dispose également d'une gamme d'adaptateurs de support d'échantillons pour l'implantation de différentes tailles d'échantillons et matériaux. De plus, l'actif est conçu pour une grande fiabilité et sécurité avec son mécanisme de verrouillage intégré qui empêche une implantation ionique accidentelle, ainsi qu'un effacement forcé du faisceau lorsqu'un obstacle est rencontré. Il comprend également une surveillance continue de la température de l'anode, des moniteurs de faisceau numériques et des systèmes de surveillance de la température CPU qui garantissent un fonctionnement sûr et fiable. En outre, le modèle est conforme aux dernières normes de sécurité, y compris CE, ISO 13485 et RoHS. Dans l'ensemble, VARIAN E19013590 est un implant et un moniteur ionique sophistiqué et performant qui fournit aux utilisateurs une solution économique et fiable pour les processus de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ses technologies de pointe et ses caractéristiques de sécurité garantissent un fonctionnement fiable et des résultats de qualité dans l'implantation d'un large éventail de matériaux.