Occasion VARIAN E220 / E500 #293767838 à vendre en France

VARIAN E220/ E500 est un outil multifonctionnel de haute performance utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour obtenir un dopage uniforme des surfaces des plaquettes. Les modèles E220 et E500 sont tous deux capables d'implanter des ions jusqu'à 250kV et de réguler la température de -55 ° C à 150 ° C L'unité permet la sélection de différentes plages de courant, d'intensité et d'énergie du faisceau et dispose d'un équipement de contrôle de faisceau avancé et d'un détecteur de système numérique, offrant des capacités d'accord de faisceau rapides et précises. La température est mesurée à l'aide d'un thermocouple avancé. L'unité E220/ E500 est équipée d'un plateau source d'ions et d'un canon, de PFC sous vide, de chambre de mélange de gaz et de collimateurs Beamline. Le plateau source d'ions et le canon permettent de sélectionner jusqu'à trois sources d'ions, et fournit un courant de faisceau réglable, l'énergie et l'espacement des impulsions. Le Vacuum PFC maintient un vide constant dans l'unité, tandis que la chambre de mélange de gaz permet l'introduction d'additifs dans la machine. Les collimateurs Beamline permettent à l'utilisateur de sélectionner avec précision l'angle et la forme du faisceau. Les modèles E220 et E500 disposent également d'une gamme de moniteurs pour assurer la stabilité de l'outil et suivre les profondeurs d'implantation. Les systèmes comportent un moniteur de courant ionique, un moniteur ionique intégré et un moniteur de profil ionique. Le moniteur de courant d'ions est utilisé pour mesurer le courant d'ions total et le courant du faisceau, tandis que le moniteur d'ions intégré permet de mesurer le flux d'ions moyen. Le moniteur de profil ionique mesure le profil des ions implantés. VARIAN E220/ E500 est équipé d'une gamme de dispositifs de sécurité pour assurer la sécurité de l'opérateur et de l'équipement. Ces caractéristiques comprennent un outil de verrouillage de clé, un interrupteur mécanique intégré de verrouillage de porte, des indicateurs de couvercle à vide, des alarmes de performance et des fonctions d'arrêt d'urgence. Globalement, le E220/ E500 est un outil multifonctionnel performant qui est essentiel pour obtenir un dopage uniforme des surfaces des plaquettes. L'unité est conçue pour fournir un environnement fiable et stable, tandis que les différents moniteurs et caractéristiques de sécurité assurent que l'outil est utilisé dans des conditions de sécurité et optimales.