Occasion VARIAN E220 #9069279 à vendre en France

Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.

ID: 9069279
Style Vintage: 1999
Ion implanter Soft Ver. Ver 12.2 Gas Box HP Gas Box Auto Decel YES Scan Post Scan Chamber Scan Generator TERK Power Supply Wafer Size 8 Inch Wafer Clamp ESC Cryo Pump Chamber - CTI Load Lock Pump CTI Cryo Pump(CT250F) Compressor 8500 Wafer Handler Standard Type Main Monitor LCD Exhaust Box Standard Roplat Cable Standard Type Source Head Bernas Turbo Pumps: Ion Source: Pfeiffer TMH101P Analyzer: Pfeiffer TMH260 Beamline: Pfeiffer TPS301 Dry Pump: Ion Source: Edwards iQDP80 Stage: Edwards iQDP40 + QMB250 Load Lock: Edwards iQDP80 Bas Bottle #1 PH3 - SDS Bas Bottle #2 AsH3 - SDS Bas Bottle #3 BF3 - High Pressure Bas Bottle #4 Ar - High Pressure Gas Interlock: Leak Current Exhaust Gas 2nd High Pressure Currently warehoused 1999 vintage.
VARIAN E220 est un équipement d'implantation et de surveillance d'ions fournissant une implantation ionique très précise pour créer une variété de profils d'implants pour les plaquettes et les substrats. VARIAN E-220 est conçu pour fournir des performances fiables et cohérentes et est capable de manipuler une large gamme de tailles de plaquettes et de substrats. Le système comporte une source d'ions constituée d'un fusil à hexaborure de lanthane (LaB6) à durée de vie prolongée. Le pistolet est suspendu dans une chambre à vide et est actionné avec la puissance contrôlée par ordinateur et des régleurs de réseau pour obtenir des conditions optimales d'implantation ionique. L'unité comprend également des composants de surveillance et de contrôle de l'implantation ionique tels que des contacts, des capteurs de pression et un compteur de courant numérique pour assurer une implantation précise et répétable. E 220 permet un contrôle précis du débit de dose implantée et de la taille de l'analyte, garant d'une implantation efficace et précise. La machine permet jusqu'à 10 chambres indépendantes capables d'appliquer des profils d'implantation allant de 0,0005 pouce à 0,8 pouce d'épaisseur. VARIAN E 220 utilise des dispositifs de précision haute tension pour l'injection et l'extraction des espèces d'ions, ce qui entraîne une grande uniformité des ions et une très faible propagation de l'énergie d'implantation des ions. E220 comporte également de nombreux dispositifs de sécurité, y compris, sans s'y limiter, une dépression de la chambre en cas d'émerveillement, un arrêt d'urgence en cas de panne de courant et un outil de verrouillage de la chambre qui détecte l'ouverture accidentelle de portes ou de fenêtres. L'actif dispose également de détecteurs de particules pour alerter les exploitants de tout contaminant aérien dangereux présent. Le modèle offre une interface conviviale et une large gamme d'alarmes pour la commodité et la protection de l'utilisateur, y compris les alarmes d'état, les alarmes de courant, les alarmes de fin d'exploitation, les alarmes de chambre, les alarmes de dysfonctionnement de l'équipement et les alarmes de séquence. Toutes ces alarmes aident à assurer un processus d'implantation sûr et réussi. E-220 offre un excellent niveau de contrôle et de précision tout en offrant une excellente convivialité et sécurité. Le système fournit une implantation précise et répétable et est capable de manipuler une large gamme de tailles de plaquettes et de substrats. L'unité est également capable de fournir des composants à longue durée de vie, un contrôle précis de l'implantation, et une multitude d'emboîtements de sécurité. Ceci fournit à l'utilisateur une machine d'implantation fiable et sûre.
Il n'y a pas encore de critiques