Occasion VARIAN E220 #9257302 à vendre en France
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Vendu
ID: 9257302
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
Ion implanters, 8"
Type: Medium current implanter
SEIKI STP-1000C Vacuum turbo I/S
SEIKI STP-300 ANA Turbo
SEIKI STP-1000 B/L Turbo
Vacuum rough I/S: EBARA 40 x 20
Stage: EBARA 50 x 20 UERR 6M
Load lock: EBARA A30W
Gas box: HP type
(4) Gas bottles:
PH3-s
AsH3-s
BF3
Busshing EHP type
Source head bernas
Arc power supply CPI
Mirror readback
Reducer: (2) Steps
Scan post scan chamber
Scan generator trek PS
Linear servo copley
Wafer clamp mechanical: 6 Points
Roplat: (Controller P/N:E11048880)
Tilter: (Controller P/N:E11048890)
Travelling faraday TVL
Main monitor flat-panel
Decel auto
HV Probe
Exhaust leak detect
Gas Interlock Unit
Interface PD
No vaporizer
1994 vintage.
VARIAN E220 est un système avancé d'implantation et de surveillance ionique fabriqué par VARIAN Semiconductor Equipment Group. Spécifiquement conçu pour augmenter la productivité et réduire des prix, VARIAN électronique 220 permet aux fabricants de puce de semi-conducteur de rapidement produire la haute performance, les appareils de pouvoir bas. E 220 Implants et moniteurs disposent d'implants de précision de haute qualité avec des niveaux de bruit faibles et l'uniformité tout en restant relativement compact. VARIAN E 220 dispose de deux systèmes d'entraînement indépendants, une source complète d'ions duplex et une source d'électrons à haut courant, pour obtenir des performances optimales. Cette technologie permet l'implantation de faisceaux d'ions et d'électrons dans la puce. En outre, E220 utilise une interface utilisateur graphique facile à utiliser qui permet un suivi précis et en temps réel des conditions d'implantation. E-220 comporte des plages de courant de faisceau allant jusqu'à 25mA, des plages de tension allant jusqu'à 950V et des plages d'énergie allant jusqu'à 25keV, ce qui permet de délivrer une gamme d'espèces d'ions plus élevée. L'implanteur dispose également d'une configuration à trois électrodes, d'un moniteur de dépôt et d'un masqueur de substrat automatisé inclinable avec jusqu'à huit niveaux de protection du substrat. Ceci permet de délivrer avec précision des ions et des électrons sans sur-pénétration. VARIAN E220 est équipé d'un système de distribution programmable avancé, capable de contrôler une grande variété de variables, telles que le courant total du faisceau, le moment entre les impulsions et la dose totale délivrée. Il comprend également des nettoyants à plasma automatisés et des routines préprogrammées qui permettent d'augmenter les débits et d'améliorer la productivité. En outre, VARIAN E-220 dispose d'un système de maintenance prédictive conçu pour identifier les zones d'usure potentielles et donner une alerte précoce de toute condition de fonctionnement anomolique, augmentant sa fiabilité et son temps de disponibilité. E 220 est un appareil d'implantation et de surveillance ionique fiable et précis, parfaitement adapté aux environnements de production nécessitant des dispositifs de haute qualité. Doté d'un fonctionnement automatisé et manuel, ainsi que de systèmes sophistiqués de sécurité et de contrôle, VARIAN E 220 fournit la précision et l'efficacité ultime à une variété de fabricants de puces à semi-conducteurs.
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