Occasion VARIAN E220 #9262460 à vendre en France
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VARIAN E220 Ion Implanter and Monitor est un appareil de haute performance conçu pour l'implantation de bore ou de phosphore dans des plaquettes semi-conductrices. Il utilise les dernières technologies dans la conception d'accélérateurs ioniques pour fournir un excellent contrôle de processus et la précision. Le processus d'implantation ionique nécessite une puissance élevée, une commutation basse tension et un contrôle précis de l'intensité du faisceau et des paramètres de focalisation. VARIAN E-220 est une machine modulaire entièrement programmable, avec une variété d'options, y compris un équipement de sélection d'énergie et de rastering de faisceau. Le système de sélection d'énergie dispose d'une unité de balayage électrostatique P2 qui permet d'implanter simultanément plusieurs ions ou ions énergétiques ayant des énergies cinétiques différentes. La machine raster permet à l'utilisateur d'ajuster facilement les paramètres du faisceau et de scanner la surface des plaquettes. Les paramètres du faisceau peuvent être adaptés à des applications spécifiques, telles que des implants de jonction ultra peu profonds, ou des ions à faible fertilité. E 220 dispose également d'un appareil photo couplé haute résolution PML500 charge. Cet actif utilise un détecteur sensible à la position pour surveiller avec précision le processus d'implantation ionique. La caméra peut être utilisée pour détecter et diagnostiquer tout changement dans le profil de l'implant. L'ensemble électronique de contrôle de E220 est à la pointe de la technologie, utilisant une variété de paramètres logiciels et incluant le modèle IPC (Integrated Process Control). L'équipement IPC fournit un ensemble complet de fonctionnalités pour surveiller et contrôler le processus d'implantation ionique. Ce système peut être utilisé pour contrôler automatiquement la tension d'accélération, l'intensité du faisceau, la raster ou la zone du faisceau, et le débit de dose. VARIAN E 220 comprend également un générateur d'impulsions et un régulateur d'énergie. Le générateur d'impulsions produit une onde carrée de tension qui détermine la fréquence et le temps total du fonctionnement du faisceau de l'implanteur d'ions. L'unité de contrôle d'énergie assure un contrôle précis de l'énergie du faisceau et assure que l'énergie du faisceau reste constante pendant le processus. Dans l'ensemble, E-220 Ion Implanter and Monitor est un outil d'implantation puissant et fiable. Il fournit un excellent contrôle du processus et la précision, ainsi que des fonctionnalités qui assurent que tout changement dans le profil de l'implant sont détectés et diagnostiqués. C'est un outil précieux pour les semi-conducteurs et les dernières technologies dans la conception d'accélérateurs ioniques.
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