Occasion VARIAN E220 #9272647 à vendre en France

VARIAN E220
ID: 9272647
Ion implanter.
L'ion de VARIAN E220 implanter et le moniteur sont une haute précision, un état de l'outil d'art qui a été conçu à l'implant et contrôle l'implantation de dopants dans les gaufrettes de semi-conducteur. Cette machine a été conçue pour être rentable mais robuste et pour surveiller et implanter avec précision des dopants à une vitesse et une profondeur uniformes dans le substrat désiré. VARIAN électronique 220 a une accélération d'ion réglable et une décélération pour donner l'uniformité de dose meilleure possible à l'utilisateur pour les implantations plus précises et les moniteurs. Cette machine est capable d'analyser jusqu'à seize plaquettes simultanément, et dispose d'un faisceau d'implantation d'ions réglable avec un courant d'implantation maximal de 200mA et une taille de tache de faisceau variable jusqu'à 4mm de diamètre. E 220 dispose également d'un système de suivi des échantillons et d'alimentation de table qui assure l'emplacement des plaquettes et la précision de l'orientation. Il dispose également d'un système avancé de rétroaction émissive pour une implantation précise. VARIAN E 220 dispose d'un implanteur intégré On-Cell (OCI) pour optimiser la profondeur d'implantation en contrôlant le courant du faisceau d'ions et la décélération à la position de l'échantillon. Ce BEC a été prouvé pour fournir des concentrations de dopage et des profils de dose uniformes sur l'ensemble de la plaquette. Cette machine dispose également d'un moniteur OCI, qui peut être utilisé pour surveiller l'implantation d'ions en temps réel avec une période de deux impulsions. E-220 implanteur et moniteur ionique est conçu pour être très économe en énergie avec une utilisation optimale des ressources. En utilisant la surveillance in situ et le contrôle du courant du faisceau d'implantation, cette machine permet un meilleur contrôle des procédés et des rendements de production plus élevés. Les capacités d'acquisition et d'analyse des données d'E220 fournissent également des données précieuses qui peuvent être utilisées pour améliorer la répétabilité et réduire les coûts de production.
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