Occasion VARIAN E220HP #9222331 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9222331
Taille de la plaquette: 6"
Medium current ion implanter, 6"
(2) Stage EBARA dry pumps
EBARA E/S Rough dry pump
EBARA Source roughing dry pump
Compressor: CTI-8500 / SUZUKI C300
He line: 15M
Target cryo: CT-8F
Load lock pump: SUZUKI Baby Cryo
Source Pump: SEIKO SEIKI Turbo pump
Aperture pump: SEIKO SEIKI Turbo pump
Scanner pump: SEIKO SEIKI Turbo pump
Vacuum system Gauge: CCIG
Cooling system: Ground & terminal water pump
Power system:
UPS
Wafer handler system
Hand off type: Standard
Handler motor
Platen (Mechanical)
Roplat head
Roplat cable
Tilter assy P/N
Linear motor servo controller
Platen tilter servo controller
Rotating platen / Scanfara controller
Ropins motor
Scan field forcer
Heat exchange
Orienter motor (Belt type)
Orienter sensor (Lamp)
Orienter controller
Orienter lifter controller
Right elevator controller
Left elevator controller
Mapping sensor
Cassette / Tilt sensor
Service monitor
Gas supply system:
Gas bottle type: High pressure
(3) Gas bottle
Gas box type: HP
Beam generation / Source:
Ion source: E11030996 Bernas
Arc PS
Filament PS
Extraction PS: 40 kV
Extraction suppression PS
AMU Power supply
Lens power supply
E220 Source bushing
2 Step reducer
Beam generation / Beam-line
Trek amplifier: 20 KV
Acceleration PS: 180 KV
Acceleration suppression PS
Acceleration column
Mirror PS
Decel PS
PCB Scan generator
Scan generator controller
Beam measurement & scan check:
Uniformity controller
Dose integrator control
Beam purity check
Faraday
No Accel / Decel switch hardware
Quality kit: E220 Energy probe
Automation: Host.
VARIAN E220HP est un appareil d'implantation et de surveillance ionique utilisé pour la fabrication de semi-conducteurs. Ce système est une mise à jour de la série 220 d'implantateurs et fournit un plus grand faisceau d'ions pour la modification des matériaux et l'implantation de dopants. Cet implant dispose d'une unité de commande incroyablement puissante, permettant un contrôle précis du faisceau et de ses paramètres. La machine est également équipée de plusieurs systèmes de sécurité, tels que la détection d'alimentation, la surcharge du moteur d'implantation et les détecteurs de surpression. Le principal avantage de l'utilisation de VARIAN E220 HP est sa grande précision et précision lors des processus de modification des matériaux. Cet outil est capable de traiter une gamme de matériaux, y compris les métaux, les semi-conducteurs et les plastiques. Le modèle de contrôle de l'actif est conçu pour appliquer des doses exactes et cohérentes d'implantation tout en maintenant une taille de faisceau et une densité de flux limitées. En outre, l'équipement est capable d'atteindre des énergies ioniques allant de 20 keV à 6000 keV, selon le matériau modifié. E 220 HP est également équipé de plusieurs fonctionnalités qui facilitent la maintenance du système et le diagnostic des problèmes. L'unité est équipée d'une machine de détection de mouvement surveillée en continu qui élimine les emboîtements nécessaires pour d'autres implantateurs d'ions. Les systèmes disposent également d'un écran tactile et d'une interface graphique complète (interface graphique). Cette interface graphique fournit une rétroaction en temps réel de tous les diagnostics des outils, du suivi de la performance des actifs aux erreurs. Dans l'ensemble, VARIAN E 220 HP est un modèle d'implantation et de surveillance ionique incroyablement puissant et précis, capable de manipuler une gamme de matériaux pour une modification précise et cohérente des matériaux. Ses caractéristiques de sécurité, son système de détection de mouvement et son interface graphique complète en font un choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs.
Il n'y a pas encore de critiques