Occasion VARIAN E220HP #9237131 à vendre en France

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ID: 9237131
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
Ion implanter, 8" Terminal module / Gas cabinet: Gas cylinder volume: 4 ltrs No Ar (External / Internal) AsH3 Cylinder type: High pressure PH3 Cylinder type: SDS 2.25L BF3 Cylinder type: High pressure 1L Gas line purge No dual vaporizer option M-Chuck Terminal module / Source: Source head type: Bernus Source bushing type: EHP No source magnet polarity switch No 2 steps reducer type option Terminal module / Beam-line: Scan generator: 20 kV Mirror: 30 kV Automatic graded decel relay & P/S No hall probe option Beam energy probe option End station module: Wafer handler platform type: Standard Platen type: M-Clamp Roplat & tilt type Travel faraday type: TVL Faraday No metal contamination reduction kit option CVCF Enclosure: No video viewing of wafer loading No three light signal tower Smoke detectors No water leak detectors No service monitor Accessories: Source turbo pump type: SEIKO STP-1000C Analyzer turbo pump type: SEIKO STP-300C Beam-line turbo pump type: SEIKO STP-1000C Source rough pump type: EBARA 40x20 No beam line booster pump Stage pump type: EBARA 50x20 L/L Pump type: EBARA A30W Target cryo pump type: CTI-250 Load lock pump type: AISHIN GD263 Cryo compressor type: SUZUKI C300 Remote PD Option: Beam drift monitor System PC: 1 GHz Spare parts: Ion source head Terminal insulator 1994 vintage.
VARIAN E220HP endstation est un état de l'ion d'art implanter et du moniteur. Il s'agit d'un équipement avancé conçu pour fournir un maximum de courant de faisceau et de stabilité énergétique. Ce cheval de travail polyvalent d'un système est équipé de technologies de pointe pour garantir les meilleurs résultats dans l'implantation et le contrôle de la profondeur, de l'asymétrie et de l'uniformité de l'implant. L'unité est alimentée par un accélérateur à double faisceau à haut rendement énergétique, capable de fonctionner en mode faisceau unique ou multiple. Cela permet une plus grande flexibilité et un contrôle accru de l'implantation et du contrôle de dose pour chaque application. La machine est également équipée d'un ensemble de blindage robuste conçu pour réduire les émissions de rayonnement de l'accélérateur. Cette caractéristique de l'outil garantit la sécurité de l'environnement de travail et la qualité des implants générés sont de la plus haute qualité possible. Pour la surveillance des profils d'implants, l'actif est équipé d'un modèle de réglage de faisceau de haute précision qui permet un contrôle précis de la position du faisceau et de la distribution des doses. L'équipement de surveillance peut également mesurer la non-uniformité de l'implant. Il comprend des logiciels qui peuvent rapidement identifier les régions de non-uniformité et offrir des solutions pour résoudre le problème. Le système comprend également une variété d'outils de diagnostic qui peuvent être utilisés pour affiner le processus et s'assurer que les implants sont de la plus haute qualité et fiabilité. L'unité est également livrée avec une interface conviviale, permettant à l'opérateur de gérer sans effort l'ensemble du processus d'implant. Son interface graphique permet une navigation facile et tous les paramètres nécessaires peuvent être gérés en quelques clics. Cela rend l'ensemble du processus implant plus efficace et réduit le temps nécessaire pour terminer le processus. VARIAN E220 HP a également été conçu pour offrir un maximum de temps d'utilisation de la machine et de fiabilité. Il dispose d'un outil d'autosurveillance qui peut détecter les problèmes avant qu'ils ne deviennent un problème et alerter l'opérateur. La machine dispose également de protocoles de maintenance automatisés et de routines de maintenance définies par l'utilisateur, qui l'aident à fonctionner efficacement en tout temps. E 220 HP est l'atout parfait pour les fabricants qui recherchent une implantation et un moniteur ionique haute performance. Avec ses caractéristiques de pointe, son assemblage robuste et son interface conviviale, il est sûr de fournir des implants de la plus haute qualité possible en efficacité et fiabilité.
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