Occasion VARIAN E220HP #9237131 à vendre en France
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Vendu
ID: 9237131
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
Ion implanter, 8"
Terminal module / Gas cabinet:
Gas cylinder volume: 4 ltrs
No Ar (External / Internal)
AsH3 Cylinder type: High pressure
PH3 Cylinder type: SDS 2.25L
BF3 Cylinder type: High pressure 1L
Gas line purge
No dual vaporizer option
M-Chuck
Terminal module / Source:
Source head type: Bernus
Source bushing type: EHP
No source magnet polarity switch
No 2 steps reducer type option
Terminal module / Beam-line:
Scan generator: 20 kV
Mirror: 30 kV
Automatic graded decel relay & P/S
No hall probe option
Beam energy probe option
End station module:
Wafer handler platform type: Standard
Platen type: M-Clamp
Roplat & tilt type
Travel faraday type: TVL Faraday
No metal contamination reduction kit option
CVCF
Enclosure:
No video viewing of wafer loading
No three light signal tower
Smoke detectors
No water leak detectors
No service monitor
Accessories:
Source turbo pump type: SEIKO STP-1000C
Analyzer turbo pump type: SEIKO STP-300C
Beam-line turbo pump type: SEIKO STP-1000C
Source rough pump type: EBARA 40x20
No beam line booster pump
Stage pump type: EBARA 50x20
L/L Pump type: EBARA A30W
Target cryo pump type: CTI-250
Load lock pump type: AISHIN GD263
Cryo compressor type: SUZUKI C300
Remote PD
Option: Beam drift monitor
System PC: 1 GHz
Spare parts:
Ion source head
Terminal insulator
1994 vintage.
VARIAN E220HP endstation est un état de l'ion d'art implanter et du moniteur. Il s'agit d'un équipement avancé conçu pour fournir un maximum de courant de faisceau et de stabilité énergétique. Ce cheval de travail polyvalent d'un système est équipé de technologies de pointe pour garantir les meilleurs résultats dans l'implantation et le contrôle de la profondeur, de l'asymétrie et de l'uniformité de l'implant. L'unité est alimentée par un accélérateur à double faisceau à haut rendement énergétique, capable de fonctionner en mode faisceau unique ou multiple. Cela permet une plus grande flexibilité et un contrôle accru de l'implantation et du contrôle de dose pour chaque application. La machine est également équipée d'un ensemble de blindage robuste conçu pour réduire les émissions de rayonnement de l'accélérateur. Cette caractéristique de l'outil garantit la sécurité de l'environnement de travail et la qualité des implants générés sont de la plus haute qualité possible. Pour la surveillance des profils d'implants, l'actif est équipé d'un modèle de réglage de faisceau de haute précision qui permet un contrôle précis de la position du faisceau et de la distribution des doses. L'équipement de surveillance peut également mesurer la non-uniformité de l'implant. Il comprend des logiciels qui peuvent rapidement identifier les régions de non-uniformité et offrir des solutions pour résoudre le problème. Le système comprend également une variété d'outils de diagnostic qui peuvent être utilisés pour affiner le processus et s'assurer que les implants sont de la plus haute qualité et fiabilité. L'unité est également livrée avec une interface conviviale, permettant à l'opérateur de gérer sans effort l'ensemble du processus d'implant. Son interface graphique permet une navigation facile et tous les paramètres nécessaires peuvent être gérés en quelques clics. Cela rend l'ensemble du processus implant plus efficace et réduit le temps nécessaire pour terminer le processus. VARIAN E220 HP a également été conçu pour offrir un maximum de temps d'utilisation de la machine et de fiabilité. Il dispose d'un outil d'autosurveillance qui peut détecter les problèmes avant qu'ils ne deviennent un problème et alerter l'opérateur. La machine dispose également de protocoles de maintenance automatisés et de routines de maintenance définies par l'utilisateur, qui l'aident à fonctionner efficacement en tout temps. E 220 HP est l'atout parfait pour les fabricants qui recherchent une implantation et un moniteur ionique haute performance. Avec ses caractéristiques de pointe, son assemblage robuste et son interface conviviale, il est sûr de fournir des implants de la plus haute qualité possible en efficacité et fiabilité.
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