Occasion VARIAN E500 #293625917 à vendre en France
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VARIAN E500 est un implant ionique de haute précision et un moniteur utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il dispose d'un processus double accélérateur avec une puissance de faisceau allant de 10kW à 30kW. Le faisceau de particules accéléré est ajusté électroniquement et hautement fiable, ce qui permet aux utilisateurs de contrôler avec précision la dose, l'énergie et le profil de chaque implant. Cet implant ionique avancé est polyvalent et peut être utilisé pour des implants allant du dopage élevé aux implants de sous-seuil. VARIAN E 500 comprend également un moniteur de faisceau fiable et des diagnostics in situ pour aider à s'assurer que l'utilisateur obtient des performances optimales de l'équipement. En termes de matériel, E-500 est un système étanche au vide avec une chambre à vide complète construite en acier inoxydable. L'unité supérieure comprend la source d'ions, l'ensemble d'extraction et un modulateur Quad-Axis de haute précision. Ce modulateur est essentiel pour assurer une focalisation et une orientation précises du faisceau. La partie inférieure est celle où se trouve l'étage de l'échantillon, avec une table de mouvement XY pour permettre un positionnement précis de l'échantillon. La machine dispose également d'un scanner pour contrôler le faisceau d'ions qui pénètre dans la chambre d'échantillonnage. Cet ensemble de balayage comporte jusqu'à quatre bobines de déflexion électrique pour dévier le faisceau, ce qui permet une précision jusqu'à une résolution de sous microns. Supplémentairement, VARIAN électronique 500 a un sous-système de contrôle expérimental, qui fournit le cadre de paramètre automatisé, l'optimisation de profil et l'acquisition de données. Du côté logiciel, l'outil exécute l'actif d'exploitation basé sur Microsoft Windows, qui assure des performances fiables. Le logiciel offre aux utilisateurs une flexibilité de configuration, avec la possibilité de paramétrer le faisceau et de surveiller les conditions de la chambre. Il dispose également de capacités d'analyse de données, qui montrent la dose et l'énergie de chaque implant. En termes de sécurité, le modèle est équipé d'une source d'ions refroidie à l'eau, qui empêche l'accumulation d'ions dans l'équipement, assurant un fonctionnement sûr de l'E 500. En conclusion, E500 est un implanteur et moniteur ionique puissant et fiable, capable de manipuler même les plus exigeants. Il fournit un contrôle précis du faisceau, des diagnostics in situ et une acquisition automatisée des données, permettant aux utilisateurs d'optimiser le processus d'implantation. La combinaison de l'équipement et du logiciel garantit que les utilisateurs obtiennent des performances optimales du système, tout en restant sûr et efficace.
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