Occasion VARIAN E500 #9206611 à vendre en France

ID: 9206611
Style Vintage: 1993
Medium current ion implanter, 6" Signal tower: Front panel Platen type: M-clamp Loadlock: Left, right No CVCF Option System vacuum: Ion source chamber Beamline chamber End station chamber Pumps: Terminal: Dry pump Turbo pump & (3) controllers E/S Chamber: Dry pump Dry pump / Booster pump Cryo pump L/L Cryo Maker / Model / Class EDWARDS / QDP80 / Terminal dry PFEIFFER / TPH 1600 / Source TMP PFEIFFER / TCP 5000 / Source TMPC PFEIFFER / TPH 510 / Resol TMP PFEIFFER / TCP 310 / Resol TMPC PFEIFFER / TPH 240 / Beamline TMP PFEIFFER / TCP 121 / Beamline TMPC CTI / 250 / Endstation C/P CTI / 8500 / Compressor VARIAN / CTI100 / Loadlock TMP VARIAN / CTI100 / Loadlock TMPC EDWARDS / 5020+boost / End station dry Process gas: AsH3: HP Type, VCR 1/2" PH3: HP Type, VCR 1/2" BF3: HP Type, VCR 3/8" Ar(N2): HP Type, CGA 580 (Non gas line) High voltage range: Extraction power supply: 0 keV~70 keV Acceleration power supply: 0 keV ~ 180 keV Power supplies: Arc: 300VDC, 15A Filament: 7.5VDC, 200A Source magnet: 20V, 50A Extraction: 70kV (Max:75kV), 50mA Extraction suppression: -2kV, 50mA Analyzer magnet: 40V, 125A (Max:150A) Mirror power supply (decel): 30kV, 2.5mA Quadrupole magnet #1: 20V, 50A Quadrupole magnet #2: 20V, 50A Scan generator controller: -30kV, 10mA Mirror: 60kV, 1.2mA Dipole lens magnet: 40V, 125A (Max:150A) Acceleration: 180kV, 5mA (-> 8mA) Acceleration suppression: -5 kV, 5 mA Scan trek power supply: 30 kV Isolation transformer assy: 70 kV Controller (Assembly): Left arm servo Right arm servo Vacuum gauge Scan faraday Platen tilt servo Vertical lift orienter Uniformity Liner motor servo amp Orienter Left elevator Right elevator Dose integrator DI Temp monitor Options: No beam energy probe No 2 step beam reduser No auto deceleration Gas box type: HP Source type: Bernas Faraday type: VARIAN Scanning faraday Utilities: Air: 100~150 psi N2: 40~150 psi Cooling water: 60~150 psi Temperature: 4~21°C Power: 208VAC, 3-Phase, 5 Wires, 43.2kVA, 120FLA 1993 vintage.
VARIAN E500 est un implant et un moniteur ionique conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, la gravure de plasma et les processus d'implantation ionique. C'est un outil polyvalent pour réaliser le contrôle du niveau des appareils ainsi que des applications d'implantation à haute énergie. En outre, VARIAN E 500 offre une gamme de processus et de capacités de contrôle, ce qui lui permet d'être utilisé dans divers types de processus d'implantation. Le système utilise une conception brevetée de jonction triple pour diriger avec précision les ions pour l'implantation. Il est équipé d'un plan d'étage double axe pour un positionnement précis de l'échantillon implanté. Ceci est réalisé à l'aide d'un codeur mécanique et d'un ordinateur de bord, ce qui permet à la machine de localiser avec précision les échantillons dans la zone d'implantation appropriée. E-500 est capable d'implanter de l'arsenic, du bore, du phosphore et de l'antimoine. Il peut également être utilisé pour implanter du phosphore dans des structures implantées à haute énergie. E500 est capable de fournir un large éventail de doses afin que les fabricants puissent définir des paramètres d'implantation pour toutes les espèces et suivre un large éventail de données. Il est spécialement conçu pour surveiller le processus d'implantation et a la capacité de détecter les dysfonctionnements ou les imperfections de l'échantillon. Cela permet d'éviter d'éventuels dommages qui, autrement, causeraient des dommages irréversibles au produit fini. Il est également capable de contrôler les températures à l'intérieur de la chambre pendant chaque cycle d'implantation et de s'ajuster en conséquence si nécessaire. VARIAN E-500 est équipé d'une fonction d'accès à distance innovante afin que les utilisateurs puissent surveiller le système de n'importe où. Cette fonctionnalité est utile pour ceux qui sont incapables d'être physiquement à la machine pendant les implantations. Grâce à cette fonctionnalité, l'entrée manuelle peut se faire à distance et les données recueillies au cours du processus d'implantation peuvent être consultées à distance. Dans l'ensemble, le E 500 est un outil d'implantation et de contrôle puissant et fiable pour des processus de haute énergie établis et établis. Il offre un large éventail de processus et de capacités de contrôle ainsi qu'une fonction d'accès à distance qui facilite la surveillance et l'ajustement des paramètres d'implantation. Cela fait de VARIAN E500 un outil idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, la gravure de plasma et les processus d'implantation ionique.
Il n'y a pas encore de critiques