Occasion VARIAN EHP-500 #9181387 à vendre en France
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Vendu
ID: 9181387
Medium current ion implanter, 8"
E-Chuck
Main components:
End station module
Services module
PC / Monitor
LCD Monitor
Controllers
Vertical lift orienter
Vacuum gauge
Uniformity
Left elevator
DI Temp monitor
Terminal module
Remote PC and monitor
Accel column
Accel stack
Accel PSU & tray
Accel suspension PSU
Enclosure
Signal tower & HV
Exhaust leakage box
Signal tower cont box
End station services module controllers:
Left arm servo
Right arm servo
Vacuum gauge
Scan faraday
Platen tilt servo
Vertical lift orienter
Uniformity
Liner motor servo
Orienter
Left elevator
Right elevator
Dose intergator
DI Temp monitor
E Clamp PSU
UPS
Terminal PSU's and assy:
Faraday cup assy
Extraction manipulator
Motion controller
Swing out arm decel
Relay arm decel assy
Set-up mirror assy
Neutral dump assy
Anal beam dump assy
Source mag assy
Anal mag assy
Quad mag assy
Lens mag assy
Scan controller
Scan generator: 30kV
Set-up faraday pre amp
Vacuum gauge cont
Scan assy
Quad 1 mag PSU
Quad 2 mag PSU
Analyzer PSU
Extraction PSU
Lens PSU
Suppression PSU
Mirror 60kV PSU
Source mag PSU
Source head and gas cabinet:
Source head
Arc PSU
Filament PSU
Gas module:
(2) AsH3: SDS
PH3: SDS
(3) BF3: SDS
(4) Ar: Diss, CGA 580
Vacuum system:
Make Model Description
EDWARDS 1003C Source turbo pump
VARIAN V300HT Resolve turbo pump
EDWARDS 1003C Beamline turbo pump
CTI On-Board 10 Endstation cryo pump
CTI 9600 Cryo compressor
VARIAN V300HT Load / L turbo pump
VARIAN V300HT Load / L cryo pump
EBARA 50X20 Endstation dry pump
EDWARDS QDP80 Terminal dry pump
Additional parts / Spares:
CCTV: ESC Type
1998 vintage.
VARIAN EHP-500 est un équipement avancé d'implantation et de surveillance d'ions conçu pour manipuler une variété de matériaux et d'espèces d'ions sur un large éventail de pouvoirs. Le système repose sur une plate-forme de contrôle d'intégration multi-énergies et multi-ions, idéale pour des applications telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, la nanotechnologie, le dépôt physique en phase vapeur, le dépôt de couches minces, la figuration de faisceaux d'ions, la physique médicale et d'autres domaines. Les principales caractéristiques de l'unité sont sa grande précision d'implantation, le contrôle de l'uniformité, la faible contamination des particules et les événements de dispersion. VARIAN EHP500 utilise une source d'ions hexapole de haute précision qui peut fournir un large éventail d'énergies, d'angles et de puissances. Cette caractéristique permet une implantation ionique précise avec une inefficacité et une uniformité quasi nulles. La machine comprend également un outil de contrôle avancé, permettant aux utilisateurs de contrôler avec précision des paramètres tels que les potentiels d'accélération, les intensités de faisceau, la précision de position et la focalisation du faisceau. L'EHP 500 dispose également d'un outil de surveillance intégrée des faisceaux, qui offre une meilleure vue d'ensemble et un meilleur contrôle du processus. Les moniteurs de faisceau utilisent une variété de détecteurs, dont des tasses Faraday, des chambres d'ionisation et une gamme de sondes numériques. Le modèle offre également une large gamme de fonctions programmables, telles que l'effacement automatique du faisceau pour certains ions, l'initiation des étapes du processus et l'annulation automatique. L'équipement peut être installé dans une variété d'environnements de travail, y compris les salles blanches, les salles de contrôle et les endroits éloignés qui nécessitent une sécurité supplémentaire. L'interface conviviale et les diagnostics avancés de EHP500 en font un choix idéal pour la recherche et les applications industrielles. VARIAN EHP 500 est également utilisé pour effectuer des tâches de surveillance plus complexes telles que le profilage de profondeur, l'évaluation des dommages, l'analyse PID et la direction de faisceau. Ces tâches peuvent être effectuées en mode auto ou étape par étape, et fournissent une rétroaction en temps réel pour un meilleur contrôle et optimisation des processus. En résumé, EHP-500 est un système avancé d'implantation et de surveillance des ions conçu pour une implantation très précise, uniforme et propre de divers matériaux et espèces d'ions. L'unité est composée d'une source d'ions hexapole très précise, d'une machine intégrée de surveillance des faisceaux et de diverses fonctions programmables, et offre une grande flexibilité et une précision accrue pour une variété d'applications.
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