Occasion VARIAN EHP-500 #9181387 à vendre en France

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ID: 9181387
Medium current ion implanter, 8" E-Chuck Main components: End station module Services module PC / Monitor LCD Monitor Controllers Vertical lift orienter Vacuum gauge Uniformity Left elevator DI Temp monitor Terminal module Remote PC and monitor Accel column Accel stack Accel PSU & tray Accel suspension PSU Enclosure Signal tower & HV Exhaust leakage box Signal tower cont box End station services module controllers: Left arm servo Right arm servo Vacuum gauge Scan faraday Platen tilt servo Vertical lift orienter Uniformity Liner motor servo Orienter Left elevator Right elevator Dose intergator DI Temp monitor E Clamp PSU UPS Terminal PSU's and assy: Faraday cup assy Extraction manipulator Motion controller Swing out arm decel Relay arm decel assy Set-up mirror assy Neutral dump assy Anal beam dump assy Source mag assy Anal mag assy Quad mag assy Lens mag assy Scan controller Scan generator: 30kV Set-up faraday pre amp Vacuum gauge cont Scan assy Quad 1 mag PSU Quad 2 mag PSU Analyzer PSU Extraction PSU Lens PSU Suppression PSU Mirror 60kV PSU Source mag PSU Source head and gas cabinet: Source head Arc PSU Filament PSU Gas module: (2) AsH3: SDS PH3: SDS (3) BF3: SDS (4) Ar: Diss, CGA 580 Vacuum system: Make Model Description EDWARDS 1003C Source turbo pump VARIAN V300HT Resolve turbo pump EDWARDS 1003C Beamline turbo pump CTI On-Board 10 Endstation cryo pump CTI 9600 Cryo compressor VARIAN V300HT Load / L turbo pump VARIAN V300HT Load / L cryo pump EBARA 50X20 Endstation dry pump EDWARDS QDP80 Terminal dry pump Additional parts / Spares: CCTV: ESC Type 1998 vintage.
VARIAN EHP-500 est un équipement avancé d'implantation et de surveillance d'ions conçu pour manipuler une variété de matériaux et d'espèces d'ions sur un large éventail de pouvoirs. Le système repose sur une plate-forme de contrôle d'intégration multi-énergies et multi-ions, idéale pour des applications telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, la nanotechnologie, le dépôt physique en phase vapeur, le dépôt de couches minces, la figuration de faisceaux d'ions, la physique médicale et d'autres domaines. Les principales caractéristiques de l'unité sont sa grande précision d'implantation, le contrôle de l'uniformité, la faible contamination des particules et les événements de dispersion. VARIAN EHP500 utilise une source d'ions hexapole de haute précision qui peut fournir un large éventail d'énergies, d'angles et de puissances. Cette caractéristique permet une implantation ionique précise avec une inefficacité et une uniformité quasi nulles. La machine comprend également un outil de contrôle avancé, permettant aux utilisateurs de contrôler avec précision des paramètres tels que les potentiels d'accélération, les intensités de faisceau, la précision de position et la focalisation du faisceau. L'EHP 500 dispose également d'un outil de surveillance intégrée des faisceaux, qui offre une meilleure vue d'ensemble et un meilleur contrôle du processus. Les moniteurs de faisceau utilisent une variété de détecteurs, dont des tasses Faraday, des chambres d'ionisation et une gamme de sondes numériques. Le modèle offre également une large gamme de fonctions programmables, telles que l'effacement automatique du faisceau pour certains ions, l'initiation des étapes du processus et l'annulation automatique. L'équipement peut être installé dans une variété d'environnements de travail, y compris les salles blanches, les salles de contrôle et les endroits éloignés qui nécessitent une sécurité supplémentaire. L'interface conviviale et les diagnostics avancés de EHP500 en font un choix idéal pour la recherche et les applications industrielles. VARIAN EHP 500 est également utilisé pour effectuer des tâches de surveillance plus complexes telles que le profilage de profondeur, l'évaluation des dommages, l'analyse PID et la direction de faisceau. Ces tâches peuvent être effectuées en mode auto ou étape par étape, et fournissent une rétroaction en temps réel pour un meilleur contrôle et optimisation des processus. En résumé, EHP-500 est un système avancé d'implantation et de surveillance des ions conçu pour une implantation très précise, uniforme et propre de divers matériaux et espèces d'ions. L'unité est composée d'une source d'ions hexapole très précise, d'une machine intégrée de surveillance des faisceaux et de diverses fonctions programmables, et offre une grande flexibilité et une précision accrue pour une variété d'applications.
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