Occasion VARIAN EHP-500 #9215996 à vendre en France

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ID: 9215996
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1998
Medium current ion implanter, 8" Mirror 60 Kv PSu: E110002 Gas box configuration: Gas box type: SDS Gas line 1 = PH3 Gas line 2 = AsH3 Gas line 3 = BF3 Gas line 4 = Ar Pumps configuration: VARIAN V300HT Resolver turbo pump Endstation CRYOPUMP CTI on-board 10 CTI 9600 Compressor Loadlock turbo pump VARIAN V300HT EBARA Endstation dry pump: 50 x 20 EDWARDS QDP80 Terminal dry pump Electrical facility requirements 208 V, 3 Phase, 5 wire 43.2 KVA 120 FLA 200A Main CB 42,000 AIC 60 Hz 75A Maximum single load 250kV Maximum beam energy 1998 vintage.
VARIAN EHP-500 est un implant et un moniteur ionique de haute précision. Cet instrument lourd utilise une source d'ions, une alimentation haute tension, un extracteur, un aimant de balayage, un ensemble déflecteur, une coupe Faraday et un moniteur de faisceau. La source d'ions produit des ions de haute énergie, qui sont ensuite accélérés par l'alimentation en haute tension de l'énergie désirée. Cette énergie est alors optimisée par l'extracteur qui est un ensemble magnétique utilisé pour la commande du faisceau d'ions. L'aimant de balayage est un ensemble utilisé pour contrôler et balayer le faisceau d'ions, tandis que l'ensemble déflecteur est utilisé pour façonner la trajectoire du faisceau d'ions. Ensuite, le faisceau traverse une coupe de Faraday, qui mesure l'intensité du faisceau. Enfin, le faisceau d'ions traverse le moniteur de faisceau, ce qui fournit une rétroaction sur le courant, la tension et l'énergie du faisceau. La capacité de cet instrument à contrôler, surveiller et façonner le faisceau d'ions en fait un choix idéal pour l'implantation et la surveillance d'ions de haute précision.
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