Occasion VARIAN / GENUS 1510 / 1520 #9228263 à vendre en France
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ID: 9228263
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
High energy implanter, 8"
1996 vintage.
GENUS 1510 et 1520 sont des dispositifs utilisés pour l'implantation et la surveillance d'ions dans un substrat. Ils sont conçus pour être utilisés dans les procédés de fabrication basés sur les semi-conducteurs et les nanotechnologies. Le 1510 fournit un faisceau focalisé d'ions qui est implanté avec précision dans le substrat, tandis que le 1520 est un moniteur de type siphon ionique utilisé pour mesurer les paramètres du faisceau implanté afin d'assurer le plus haut niveau de répétabilité et de précision. VARIAN 1510 dispose d'une technologie à double cathode qui permet le contrôle indépendant de chacune des deux anodes du substrat, ainsi qu'une répartition uniforme des ions sur la surface. Cela assure une implantation uniforme et cohérente tout au long du processus. Certaines de ses caractéristiques clés comprennent un système d'alignement automatique du faisceau pour améliorer la précision du faisceau, une énergie d'implant réglable pour différents substrats et un temps de processus ajusté pour un traitement plus rapide du substrat. Le moniteur d'ions 1520, quant à lui, dispose d'une grille d'ions sensible et fiable qui permet de mesurer avec précision le courant d'ions et le débit d'ions du faisceau implanté. Cela permet d'assurer la précision du processus et est essentiel pour la réalisation de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Le 1520 peut également être utilisé pour mesurer le flux global positif/négatif, l'épaisseur crête à crête et la qualité ionique de l'implant. En conclusion, VARIAN/GENUS 1510 et 1520 sont des outils essentiels pour l'implantation ionique et la surveillance des procédés dans les industries des semi-conducteurs et des nanotechnologies. Leur fonctionnement précis, précis et reproductible permet de fabriquer des appareils de haute qualité avec un minimum d'effort. Pour ces raisons, ils sont une partie essentielle de toute boîte à outils d'ingénieur de processus.
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