Occasion VARIAN / GENUS 1520 #293642980 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
VARIAN/GENUS 1520 est un système avancé d'implantation d'ions dans des matériaux semi-conducteurs. Il est capable de contrôler précisément la délivrance d'ions, permettant l'utilisation de différentes énergies d'implants, espèces, tailles de lot et débits de dose. GENUS 1520 dispose également d'options d'automatisation complètes, permettant d'effectuer plusieurs implants avec une implication minimale de l'opérateur. Le système fournit un contrôle de dose extrêmement précis, permettant des doses d'implants hautement répétables. Ceci permet aux utilisateurs de produire des implants avec des résultats cohérents, réduisant le risque d'endommagement coûteux des substrats en silicium par les particules. VARIAN 1520 est équipé des derniers logiciels de surveillance et de traitement, ce qui en fait un outil complet pour l'implantation ionique avancée. 1520 utilise la haute puissance RF, capacité de haute tension des cibles GENUS Rexolite et SHI Thalium. Ceci permet un débit de courant élevé et des taux de dopage de substrat élevés avec des dommages thermiques minimisés. L'ensemble source d'ions fournit des ions à la cible et est composé d'une paire d'électrodes d'extraction, d'une source et d'une bobine de balayage. La bobine de balayage est utilisée pour le profilage de l'implant et peut être optimisée pour réaliser un profil d'implant très localisé. VARIAN/GENUS 1520 propose également une gamme d'options de sélection d'ions (isolement), telles que l'analyse de masse, le décapage de charges et plusieurs implants d'espèces. Les options d'analyse de masse permettent de sélectionner des espèces d'ions spécifiques à implanter tandis que l'option de décapage peut être utilisée pour réduire le dopage des substrats avec contamination. L'option d'implantation d'espèces multiples permet d'améliorer la précision et la répétabilité lors de l'implantation de deux espèces ou plus. GENUS 1520 est un système puissant pour créer des appareils microélectroniques complexes et de haute qualité. Avec sa gamme de capacités d'automatisation et de contrôle des implants, il est un outil précieux pour la production de plaquettes de qualité. C'est le choix idéal pour les utilisateurs qui cherchent à produire des implants hautement reproductibles avec des dommages minimisés au substrat.
Il n'y a pas encore de critiques