Occasion VARIAN / GENUS G1510 / G1520 #9209301 à vendre en France
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GENUS G1510 & G1520 Ion Implanter & Monitor est un accélérateur de particules chargées de pointe utilisé pour implanter des ions dans divers matériaux. Ce système très modulaire et piloté par ordinateur comprend à la fois une source d'ions et une caméra de surveillance du faisceau, permettant un contrôle précis et la précision du processus d'implantation d'ions. La source d'ions est une source de duoplasmatron qui produit des ions de diverses espèces, dont l'argon, l'oxygène, le phosphore et le silicium. Cette source permet une large gamme d'énergies ioniques et de forces de courant du faisceau, ce qui rend le G1510 & G1520 adapté à différents types d'implantation ionique, tels que l'implantation adaptée à l'énergie ou l'implantation à diffusion d'énergie, permettant des applications telles que le MEMS RF ou le MEMS sensible au radar. La caméra de surveillance du faisceau peut être utilisée pour détecter et surveiller le faisceau d'ions, ce qui permet à l'opérateur de confirmer les paramètres souhaités et de surveiller le processus d'implantation en temps réel. La caméra peut également fournir une rétroaction sur divers paramètres du faisceau, tels que la taille de la tache du faisceau, la transmission du faisceau et le désalignement du faisceau. Cela permet à son tour d'améliorer le contrôle du processus d'implantation par l'opérateur, ce qui contribue à assurer l'obtention de la dose ionique désirée. Les systèmes G1510 & G1520 sont hautement automatisés, avec une interface d'opérateur intégrée offrant un accès facile à tous les paramètres de l'appareil et les fonctions de la machine. L'interface utilisateur fournit également des fonctionnalités d'alarme et de surveillance, permettant de surveiller et d'ajuster le système à distance. De plus, le module d'étalonnage intégré permet un alignement automatisé pour chaque source, assurant une implantation ionique précise pour chaque exécution. Les G1510 & G1520 sont disponibles dans les conceptions à cadres ouverts et fermés, permettant l'installation dans les applications traditionnelles de laboratoire et OEM. De plus, les systèmes sont conçus pour répondre à une variété de normes de sécurité et d'exploitation, telles que CE et SEMI 2336. Dans l'ensemble, VARIAN G1510 & G1520 Ion Implanter & Monitor sont des systèmes de haute performance, très polyvalents, capables d'implanter avec précision une variété d'ions à différentes énergies. L'ajout de fonctionnalités automatisées telles que la caméra et le module d'étalonnage améliore encore son objectif, offrant un meilleur contrôle de l'opérateur et la sécurité. Ses applications variées et sa gamme de fonctionnalités font du G1510 & G1520 une solution très efficace, fiable et rentable pour les applications d'implantation.
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