Occasion VARIAN / GENUS G1510 / G1520 #9209306 à vendre en France

GENUS G1510 et G1520 sont des implantateurs d'ions avancés et des moniteurs conçus pour la fabrication de semi-conducteurs. Ils offrent une excellente performance et fiabilité dans l'implantation d'une large gamme de processus d'implantation ionique. Le G1510 est un implanteur et un moniteur à double ion de 130 keV conçu pour des taux de dopage à haut débit et répétables. Il comprend une chambre à vide sans huile, garnie de céramique et offrant un niveau élevé de vide pour le contrôle de la contamination ionique. Les deux sources d'ions, un faisceau large et un faisceau focalisé, fournissent une distribution d'énergie uniforme, ce qui permet des temps de cycle plus rapides et un meilleur contrôle du dopant. Le G1520 est un trois sources, 120 keV ion implanter et moniteur conçu pour répondre aux besoins des applications de semi-conducteurs haut de gamme. Sa source photoélectrique haute résolution offre la flexibilité nécessaire pour implanter sélectivement jusqu'à trois dopants différents. Cela permet d'optimiser la dose et l'énergie de l'implant. De plus, le G1520 fournit une excellente stabilité et précision sur une large gamme de paramètres d'implants, ce qui en fait la solution idéale pour les applications dopantes critiques. Le G1510 et le G1520 disposent d'un système de surveillance informatique optionnel qui permet aux utilisateurs de gérer et d'enregistrer les paramètres des implants sur un ordinateur. Ce système supporte également la télécommande et la surveillance des processus implants sur un réseau sécurisé. En plus de fournir d'excellentes capacités d'implantation ionique, le G1510 et le G1520 offrent diverses options de processus, telles que des fenêtres d'implant personnalisées, une double implantation d'énergie, des implants à temps variable et une dosimétrie delta. Cela permet aux utilisateurs d'adapter le processus d'implant à leurs besoins particuliers. Les G1510 et G1520 offrent également l'un des paquets de sécurité les plus complets sur le marché. Les deux machines sont équipées d'un interrupteur de verrouillage de sécurité qui désactivera le système lorsque le couvercle de sécurité sera ouvert, et sont conformes aux normes de sécurité EN 291, EN292 et EN 60204. En général, VARIAN G1510 et G1520 sont l'ion avancé implanters et les moniteurs qui fournissent la performance excellente et l'intégrité pour un large éventail de semi-conducteur les applications industrielles.