Occasion VARIAN Solion+ #9130269 à vendre en France

ID: 9130269
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
High current implanters, 12" S2 Compliant Chiller (2) Cryo pumps (4) Turbo pumps (3) Dry pumps 2011 vintage.
VARIAN Solion + est un équipement de pointe d'implantation et de surveillance d'ions conçu pour le contrôle de précision des implants de faisceau d'ions. Il est composé d'un wafer handler, implanter et surveiller, système de manipulation de faisceau, séparateur hybride RF-DC, et cible/canon à électrons. Le gestionnaire de plaquettes comprend un mécanisme motorisé pour déplacer plusieurs plaquettes dans le plan et hors plan. L'implanteur comprend une source d'ions multi-modes à haute intensité, une unité de focalisation sophistiquée et un large éventail de composants accessoires pour l'implantation de diverses espèces d'ions. Le moniteur comprend une machine avancée de surveillance de profil de faisceau, qui dispose de rétroaction et de contrôle visuels en temps réel. L'outil de manipulation de faisceau comprend un puissant atout de contrôle pour le balayage de position et d'énergie, et une large gamme de composants de manipulation de faisceau pour contrôler précisément les conditions de l'implant. Le séparateur hybride RF-DC est conçu pour une résolution supérieure et peut être utilisé pour l'implantation ionique positive et négative, avec une gamme de tensions et de tensions séparatrices. Le modèle cible/canon à électrons permet une analyse optimale du profil d'implant ionique désiré. Solion + offre un haut degré de contrôle et de flexibilité, permettant aux utilisateurs de personnaliser leurs conditions d'implant ionique pour chaque application unique. Des paramètres tels que la tension, le courant, l'énergie du faisceau, la taille de la tache du faisceau, l'intensité du faisceau et la position du faisceau peuvent être ajustés pour affiner le profil de l'implant. L'équipement offre également des caractéristiques de sécurité intégrées, telles que la protection contre la surtension et l'alimentation de secours, pour assurer un fonctionnement sûr. En conclusion, VARIAN Solion + est un puissant système d'implantation et de surveillance ionique qui offre un contrôle et une flexibilité supérieurs pour un conditionnement précis des implants. Avec son unité sophistiquée de manipulation des faisceaux, son séparateur hybride RF-DC et son canon cible/électron, Solion + offre une large gamme d'options pour personnaliser les conditions d'implantation pour toute application.
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