Occasion VARIAN VIISion 80 #9162800 à vendre en France

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ID: 9162800
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Ion implanter, 8" L/L Dry pump type: VARIAN Tri scroll pump Source / Beam line turbo pump: PFEIFFER TMH1601P LEYBOLD MEG W1300 L/L Turbo pump: VARIAN V250 Process chamber: (4) CTI 250F Cryopumps Gas channel 1: AsH3 Gas VCR 1/2" high pressure Gas channel 2: PH3 Gas VCR 1/2" high pressure Gas channel 3: Ar Gas CGA580 high pressure, UFC-8160 Gas channel 4: BF3 Gas CGA330 high pressure, UFC-8160 PFG Gas: Xe Gas CGA580 high pressure, UFC-8160 Memory upgrade: Yes Main CB: 90 Amps CVCF CB: 50 Amps Auto disc angle motor: Yes Host: SECS Throughput (WPH): N6, 230 WPH Disc site type hook site: (13) Sites Elevator type modified 25 Lower slide pin: Yes Laser align kit: No W/H align kit: No Remote pallet: No Utility supply type: Bottom Power 208 VAC, 3 Phase, 5 wire, 50/60 Hz, 35 kVA Water: 40~100 psi Air: 90~125 psi PN2: 50~100 psi GN2: 50~100 psi Exhaust: 1600 cfm Missing parts: (4) Gasbox bushings Source head assembly Arc chamber assembly Vapour end cap plate Gas line Dip seal pump Beamline turbo pump set Turbo pump Power cable Controller Terminal RDAC board Analyzer gauss probe Rotary slit assembly Remote rack DI Colling system PCW Manifold (2) Cryo compressors (2) Dry pumps: IQDP 80 Remote rack accesory End station turbo pump set Signal tower External AC filter Disc assembly Spin drive assembly Main drive shaft stand plate Main drive shaft Spin magnet assembly Rotary union Resolver shaft assembly Encoder shaft assembly Main pulley (2) Resolvers / Encorder pulleys (2) Belts Spin magnet guide plate (8) Plate stand blocks (2) Spilcover cup cooling bellows Currently de-installed and warehoused 1995 vintage.
VARIAN VIISion 80 est un implant et moniteur ionique fabriqué par VARIAN Semiconductor Equipment Associates. VIISion 80 est un outil très efficace et fiable pour implanter, surveiller et analyser des ions lors des processus de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. VARIAN VIISion 80 dispose d'une interface très avancée et intuitive, combinant toutes les fonctions d'affichage, de contrôle et de mesure nécessaires en une seule unité. VIISion 80 utilise une large gamme de capteurs et détecteurs pour contrôler précisément l'implantation et surveiller le processus de bombardement ionique. Cet équipement dispose d'une anode haute tension réglable, permettant l'implantation d'ions positifs et négatifs à des profondeurs allant jusqu'à 0,5 mils. Il utilise également une option de surveillance actuelle intégrée, permettant aux opérateurs de s'assurer que leur processus d'implantation est toujours sous leur niveau de contrôle souhaité. VARIAN VIISion 80 permet une intégration facile dans les équipements de test automatisés et de fab semi-conducteurs existants. Ce système est également compatible avec d'autres sources d'ions, telles que l'évaporation métallique ou les sources de silane, ce qui le rend idéal pour une gamme polyvalente de besoins d'implantation. En plus de ses capacités d'implantation robustes, VIISion 80 dispose d'une unité de surveillance unique qui lui permet de relire les niveaux de courant ionique en temps réel. Cette machine comprend un détecteur de plaques à micro-canaux à très haut débit et une console de commande compacte avec un grand écran LCD offrant à l'utilisateur un aperçu complet du processus d'implantation. Pour plus de sécurité et de commodité, VARIAN VIISion 80 comprend un moniteur de sécurité dédié qui informe les opérateurs en cas d'irrégularités lors du processus d'implantation, telles qu'une surtension ou une poussée de courant inattendue. L'outil comporte également un moniteur kV réglable au niveau du sol qui est calibré individuellement pour assurer des résultats d'implantation reproductibles. En résumé, VIISion 80 est un implant et un moniteur ionique établi, conçu pour fournir des niveaux précis de contrôle et de flexibilité pour tous les besoins de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Doté de capteurs avancés, d'une interface intuitive et d'une surveillance de sécurité dédiée, VARIAN VIISion 80 est un outil efficace et sûr pour implanter et analyser des ions.
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