Occasion VARIAN VIISion 80 #9162800 à vendre en France
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Vendu
ID: 9162800
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Ion implanter, 8"
L/L Dry pump type: VARIAN Tri scroll pump
Source / Beam line turbo pump:
PFEIFFER TMH1601P
LEYBOLD MEG W1300
L/L Turbo pump: VARIAN V250
Process chamber: (4) CTI 250F Cryopumps
Gas channel 1: AsH3 Gas VCR 1/2" high pressure
Gas channel 2: PH3 Gas VCR 1/2" high pressure
Gas channel 3: Ar Gas CGA580 high pressure, UFC-8160
Gas channel 4: BF3 Gas CGA330 high pressure, UFC-8160
PFG Gas: Xe Gas CGA580 high pressure, UFC-8160
Memory upgrade: Yes
Main CB: 90 Amps
CVCF CB: 50 Amps
Auto disc angle motor: Yes
Host: SECS
Throughput (WPH): N6, 230 WPH
Disc site type hook site: (13) Sites
Elevator type modified 25
Lower slide pin: Yes
Laser align kit: No
W/H align kit: No
Remote pallet: No
Utility supply type: Bottom
Power 208 VAC, 3 Phase, 5 wire, 50/60 Hz, 35 kVA
Water: 40~100 psi
Air: 90~125 psi
PN2: 50~100 psi
GN2: 50~100 psi
Exhaust: 1600 cfm
Missing parts:
(4) Gasbox bushings
Source head assembly
Arc chamber assembly
Vapour end cap plate
Gas line
Dip seal pump
Beamline turbo pump set
Turbo pump
Power cable
Controller
Terminal RDAC board
Analyzer gauss probe
Rotary slit assembly
Remote rack
DI Colling system
PCW Manifold
(2) Cryo compressors
(2) Dry pumps: IQDP 80
Remote rack accesory
End station turbo pump set
Signal tower
External AC filter
Disc assembly
Spin drive assembly
Main drive shaft stand plate
Main drive shaft
Spin magnet assembly
Rotary union
Resolver shaft assembly
Encoder shaft assembly
Main pulley
(2) Resolvers / Encorder pulleys
(2) Belts
Spin magnet guide plate
(8) Plate stand blocks
(2) Spilcover cup cooling bellows
Currently de-installed and warehoused
1995 vintage.
VARIAN VIISion 80 est un implant et moniteur ionique fabriqué par VARIAN Semiconductor Equipment Associates. VIISion 80 est un outil très efficace et fiable pour implanter, surveiller et analyser des ions lors des processus de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. VARIAN VIISion 80 dispose d'une interface très avancée et intuitive, combinant toutes les fonctions d'affichage, de contrôle et de mesure nécessaires en une seule unité. VIISion 80 utilise une large gamme de capteurs et détecteurs pour contrôler précisément l'implantation et surveiller le processus de bombardement ionique. Cet équipement dispose d'une anode haute tension réglable, permettant l'implantation d'ions positifs et négatifs à des profondeurs allant jusqu'à 0,5 mils. Il utilise également une option de surveillance actuelle intégrée, permettant aux opérateurs de s'assurer que leur processus d'implantation est toujours sous leur niveau de contrôle souhaité. VARIAN VIISion 80 permet une intégration facile dans les équipements de test automatisés et de fab semi-conducteurs existants. Ce système est également compatible avec d'autres sources d'ions, telles que l'évaporation métallique ou les sources de silane, ce qui le rend idéal pour une gamme polyvalente de besoins d'implantation. En plus de ses capacités d'implantation robustes, VIISion 80 dispose d'une unité de surveillance unique qui lui permet de relire les niveaux de courant ionique en temps réel. Cette machine comprend un détecteur de plaques à micro-canaux à très haut débit et une console de commande compacte avec un grand écran LCD offrant à l'utilisateur un aperçu complet du processus d'implantation. Pour plus de sécurité et de commodité, VARIAN VIISion 80 comprend un moniteur de sécurité dédié qui informe les opérateurs en cas d'irrégularités lors du processus d'implantation, telles qu'une surtension ou une poussée de courant inattendue. L'outil comporte également un moniteur kV réglable au niveau du sol qui est calibré individuellement pour assurer des résultats d'implantation reproductibles. En résumé, VIISion 80 est un implant et un moniteur ionique établi, conçu pour fournir des niveaux précis de contrôle et de flexibilité pour tous les besoins de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Doté de capteurs avancés, d'une interface intuitive et d'une surveillance de sécurité dédiée, VARIAN VIISion 80 est un outil efficace et sûr pour implanter et analyser des ions.
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