Occasion VARIAN VIISion 80 #9257909 à vendre en France

VARIAN VIISion 80 est un équipement d'implantation et de surveillance ionique à trois axes conçu pour les processus automatisés d'implantation dans la fabrication de semi-conducteurs. C'est un système robuste avec des capteurs de surveillance in situ pour la protection des doses excessives et le contrôle de la profondeur. Il est conçu pour des doses ultra-élevées et peut être utilisé pour l'implantation à moyenne et basse tension. VIISion 80 dispose d'une unité de commande de mouvement à trois axes avec une vitesse maximale de 60 m/min, ce qui garantit des temps d'implantation rapides pour les grands fours. La machine dispose également d'un implanteur à deux faisceaux de forte puissance conçu pour l'implantation à moyenne et basse tension. Les lignes de champ électrique sont minimisées en raison de la distribution avancée du champ électrique et de la conception de l'alignement, ce qui permet une plus grande précision et une dose de non-uniformité réduite. VARIAN VIISion 80 comprend des capteurs et des moniteurs de pointe pour la vérification des capacités, le contrôle des doses et la surveillance des outils. Un actif de protection contre la surdose (SPDO) détecte les écarts dans la dose de photons, empêchant la surdose dans les processus d'implantation à forte dose. De plus, le modèle dispose de moniteurs in situ pour le contrôle numérique précis de la dose, de l'énergie, de l'angle et du temps le long de la ligne de faisceau afin de maximiser l'homogénéité des implants et l'uniformité des doses. VIISion 80 est également conçu pour la flexibilité et l'évolutivité, permettant l'intégration de composants technologiques supplémentaires et des changements au processus d'implantation sans nécessiter de modifications de contrôle ou de réingénierie majeures. Cela permet des améliorations et une adaptabilité futures afin de faciliter l'évolution des technologies. VARIAN VIISion 80 dispose de commandes adaptatives de canon à électrons pour optimiser les performances de la ligne de faisceau et la dose uniforme. L'équipement peut également être configuré pour différentes exigences d'implantation, y compris le contrôle du faisceau et l'optimisation du vide. Enfin, le système est conçu avec précision avec des paramètres définis par l'utilisateur, conçus pour répondre aux besoins spécifiques du client. Dans l'ensemble, VIISion 80 est une unité d'implantation et de surveillance d'ions à trois axes conçue pour optimiser les processus d'implantation. Il dispose d'un implanteur à deux faisceaux de grande puissance, d'une machine de protection sur-dose, de moniteurs in situ et d'une adaptabilité pour les futures mises à niveau. L'outil est spécialement conçu pour le contrôle des processus, le contrôle des doses et la précision des processus d'implantation rapides et fiables.