Occasion VARIAN VIISta 80 HP #9308896 à vendre en France

VARIAN VIISta 80 HP est un implant ionique multifonctionnel haute performance et moniteur de VARIAN Semiconductor. Cet équipement de pointe permet une implantation et une surveillance précises et fiables des plaquettes pendant le processus d'implantation ionique. Il est idéal pour la fabrication de circuits et de filières dans l'industrie des semi-conducteurs. VARIAN VIISTA 80HP utilise trois sous-systèmes intégrés pour le contrôle et la surveillance précise des implants : l'implant ionique, le moniteur et le contrôleur. L'implanteur ionique est un système à double axe monté sur table tournante avec un détecteur de fin de gamme. Cette unité est conçue pour fournir un contrôle précis de la posologie de l'implant en ajustant le courant, la largeur d'impulsion et le temps de rappel. La machine de surveillance permet aux utilisateurs d'observer le flux ionique pendant l'implantation. Il utilise un dispositif CMOS pour détecter l'impact d'ions sur la surface de la plaquette et signaler l'intensité du faisceau d'ions. Le contrôleur est programmé pour maintenir des paramètres d'implantation cohérents qui assurent une implantation uniforme dans chaque couche de la plaquette. VIISta 80 HP est capable de courir jusqu'à trois canons à ions en même temps, ce qui augmente le débit et améliore l'uniformité d'implantation. L'outil offre de la flexibilité avec sa capacité à gérer différentes énergies d'ionisation simultanément. Cette caractéristique améliore la sélectivité des implants et réduit les risques de contamination des implants. L'actif comprend un support de cible en oxyde d'aluminium anodique (AAO), un équipement de soufflage et une tête de grille, ainsi qu'un porte-échantillon permettant une implantation très peu endommagée. VIISTA 80HP convient à de nombreuses applications d'implantation ionique, y compris l'implant de contact de connecteur, la mémoire à transistor à couches minces, l'articulation de plaquettes pour les applications MEMS, les capteurs de pression MEMS, la structure de grille FET et la tranchée d'oxyde, et d'autres profils de haute précision. Il peut également générer des densités élevées de courant ionique et des niveaux de courant jusqu'à 80mA/cm2 avec des temps de réglage faibles avec son contrôleur de rétroaction linéaire de 200 étages et la manipulation à grande vitesse des plaquettes. Ce modèle est conforme au fonctionnement à source unique et à source multiple. VARIAN VIISta 80 HP est un équipement idéal pour des processus d'implantation et de surveillance de teintures fiables et abordables. Ses caractéristiques de pointe réduisent le temps de travail et améliorent la qualité et l'uniformité des résultats. Ce système est particulièrement avantageux pour les entreprises qui recherchent une qualité de traitement rapide mais précise avec une cohérence et des temps de cycle supérieurs.