Occasion VARIAN VIISta 80 #178078 à vendre en France

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Photo Utilisé VARIAN VIISta 80 À vendre
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Vendu
Implantateurs et moniteurs ioniques
Fabricant
VARIAN
Modèle
VIISta 80
ID: 178078
High current ion implanter, 8" Energy : 200eV to 80KeV Bernas Source with 5 Gas Stick - 90D Magnet Module and Gas Box Module Beam energy probe for D1 & D2 Module - 90 D Magnet Module and 70D Magnet Module High Resolution 90 D analyzer magnet - 90D analyzer magnet & Rods (10EA) 70 D magnet module providing uniformity & parallelism control, plus energy filtering - 70D Analyzer Magnet Multipoles(11EA) & Upper Rods(12EA), Low Rods(12EA) Profile Faraday to ensure uniform beam current distribution - Indirect Drive Profiler Assembly (Need to Upgarde, In-Vac Profiler or Rack and Pionion)- End Station Module Multiple Faraday systems for beam angle measurement & real-time monitoring - Dose Cup (Samping Cup) - End Station Module Recipe interlockable incident angle control system - End Station Module Dual plasma flood gun system - End Station Module Gas Box with 5 Gas Stick - Gas Box Module CES End-Station - End Station Module End station with orientation control 0~360 degree at +/- 1 degree accuracy - End Station Module Tilter-C Platen - End Station Module Precise control of tilt angle at +/- 0.1 degree accuracy - End Station Module - X tilt N2 Gas +Water Cooled electro-static platen , with 1KW or 2.4KW Chiller - End Station Module - Excluded Chiller Assembly only. Vertical scanning using linear servo motor driven, industrial air bearing - End Station Module Dual 25 wafer capacity, equipped for 200mm wafer sizer operations - End Station Module (3) CTI Cryo-Torr 8F cryo pump at process chamber - End Station Module (2) PFEIFFER TPH2101UPC DN 250 ISO-K, 3P - Source & Beamline Turbo Pump - Included 90D Magnet Module and 70D Magnet Module each. (2) Loadlock Turbopump - Varian 300HT and Pfeiffer - End Station Module (2) Alcatel ADS501 Roughing Pump - Source, Edwards Roughping Pump - E/S (2) Varian TriScroll Pump and Varian Membrane Pump - Included Tool Control Rack Module Module Division: Gas Box Module Facility Module -208V, 3P, 5W, 50KVA with UPS 90D Magnet Module 70D Magnet Module Source Control Module with Source Isolation Transformer Tool Control rack Module End Station Module Parts: 90D Waveguide 70D Waveguide Profiler Assembly Source Dry Pump - Alcatel: ADS501 E/S Dry Pump - Edwards Chiller Assembly (Affinity 1KW or 2.4 KW) D.I. Water Pump Assembly with Filter Service Monitor Assembly (2) Compressor Assembly (9600) (13) Door Assemblies (Right: 5EA, Left: 5EA, Rear:2EA, Inside Center: 1EA) Door Lead Panel Assemblies Roof Lead Panel Assemblies Roof Beam Assemblies Door Post Panel Assemblies (Frame) Roof Post Panel Assemblies (Frame) (2) CTI Cryo Pump - Excluded for cleaning the Chamber of E/S from E/S Module (2) Gate Valve and Housing - Excluded for cleaning the Chamber of E/S from E/S Module Lead Floor Assemblies D2 Lens Assembly Lelium Line MISC Parts (miscellaneous) Currently crated and stored in a warehouse 2000 vintage.
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VARIAN VIISta 80 est un implant et un moniteur de pointe qui fournit une grande précision et une large plage de courant pour l'implantation ionique. Cet équipement offre une homogénéité et un contrôle de dose exceptionnels. Le produit est adapté à une grande variété d'environnements de production et adapté aux processus les plus exigeants. VIISta 80 offre une excellente uniformité du courant du faisceau, une large gamme dynamique et une ondulation du courant du faisceau faible pour un contrôle de dose optimal. Le courant du faisceau peut être réglé de très faibles à très hautes énergies avec une grande dynamique allant de 1 μ A à 200 mA. La haute résolution de courant de 1 nA permet un contrôle précis de l'énergie pour une meilleure précision de dose. VARIAN VIISta 80 offre une grande flexibilité, permettant diverses combinaisons de composants formant faisceau. Le système est capable de produire des implants à courant très uniforme, extrêmement élevé, à faible ondulation de courant de faisceau et à faible diffusion d'énergie, permettant un meilleur contrôle de précision de la dose d'implant. La conception de l'unité flexible permet également de personnaliser facilement la collimation du faisceau et l'optimisation du profil. VIISta 80 utilise une machine de contrôle de rétroaction numérique pour maintenir une précision et une stabilité optimales du courant du faisceau. Cet outil surveille et ajuste continuellement le courant du faisceau en fonction de l'entrée d'un moniteur externe d'implant ionique. Cet atout permet également le diagnostic, le réglage fin et la détection automatique des pannes. VARIAN VIISta 80 combine les dernières avancées en matière d'implantation ionique avec une électronique de pointe et un logiciel sophistiqué et éprouvé. Le logiciel offre un ensemble complet de fonctionnalités, y compris la configuration expérimentale, l'analyse d'échantillons et l'enregistrement des données, ainsi que des paramètres de contrôle du courant du faisceau et du contrôle de la dose et du réglage de la tension de précision. Dans l'ensemble, VIISta 80 est une plateforme puissante et fiable pour les processus de recherche et d'implantation de production. Le modèle présente une excellente uniformité de courant de faisceau, une large gamme dynamique et une excellente ondulation de courant, ainsi qu'un haut degré de flexibilité qui permet des profils d'implantation personnalisés. Le produit dispose également d'un équipement de contrôle de rétroaction avancé et d'un logiciel sophistiqué pour une précision, une stabilité et une précision maximales.
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