Occasion VARIAN VIISta 80 #9262465 à vendre en France
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VARIAN VIISta 80 est un équipement avancé d'implantation et de surveillance d'ions qui est conçu pour desservir une variété de secteurs industriels, y compris les secteurs de la microélectronique et des semi-conducteurs. Le système produit constamment des implantations ioniques très uniformes et fiables de manière rentable. VIISta 80 dispose d'une unité de commande de mouvement à quatre axes et haute résolution pour une manipulation précise et précise de la source et du substrat d'ions. Cela permet de changer de champ entre une large gamme de gammes d'énergie et permet d'adapter chaque implant au besoin particulier d'un matériau particulier. Par exemple, les implants à faible énergie sont excellents pour l'implantation en 4H-SiC, tandis que les implants à haute énergie sont utiles pour les semi-conducteurs. La source ionique de VARIAN VIISta 80 est une machine à anode double utilisant la chimie Ar/O2 ou Xe/O2 et peut atteindre 60kHz pour fournir des débits très rapides. L'outil dispose d'alimentations en courant continu qui peuvent être polarisées jusqu'à l'énergie souhaitée de l'implant - toute énergie jusqu'à deux mille volts peut être atteint. En outre, VIISta 80 dispose d'une modulation de faisceau de haute précision qui permet d'accorder l'implant à la taille du substrat avec une excellente précision. VARIAN VIISta 80 est également équipé de systèmes de surveillance et de contrôle des processus qui permettent d'assurer la précision et la répétabilité d'un implant. Ceux-ci comprennent le comptage des particules en temps réel, l'analyse des espèces en temps réel, le contrôle informatisé de la dose en fin de gamme et le suivi en temps réel de la dose en fin de gamme. De plus, l'actif est conçu pour effectuer des rapports complets d'audit et de diagnostic afin que les corrections nécessaires puissent être apportées rapidement et facilement. Dans l'ensemble, VIISta 80 est un modèle avancé d'implantation et de surveillance d'ions qui fournit des implants précis, uniformes et fiables de façon rentable. En utilisant les dernières technologies dans les systèmes de surveillance et de contrôle, VARIAN VIISta 80 fonctionne de manière sûre et fiable dans un large éventail d'applications, de la fabrication générale de semi-conducteurs à l'aérospatiale et aux pièces automobiles.
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