Occasion VARIAN VIISta 810 HP #9093342 à vendre en France

VARIAN VIISta 810 HP est un équipement d'implantation et de surveillance ionique haute performance développé par VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc. La machine a été conçue pour répondre aux exigences du procédé de fabrication des semi-conducteurs le plus avancé et permettre une plus grande précision et des performances dans l'implantation des ions. Le système est doté d'une architecture hybride, qui combine un dispositif source d'ions à haute tension et courant continu (DC) avec un reconstitueur intégré de plaquettes. Le reconstitueur permet d'assurer une qualité constante et constante des ions implantés, et permet un contrôle précis de la dose d'ions implantés dans la plaquette. Le dispositif source d'ions contient également un blindage de la source et de la zone d'implantation, permettant des opérations fiables et sûres. VARIAN VIISTA 810HP dispose d'un grand écran numérique facilement lisible qui fournit des informations essentielles telles que la dose et l'espèce de l'implant, la pression, les paramètres de fonctionnement et l'état de l'unité. Il dispose également d'une fonction d'étalonnage automatique qui permet d'optimiser la précision de l'implantation et de s'assurer que la distribution des ions dans la plaquette est surveillée et maintenue en permanence dans les tolérances spécifiées. La machine comprend un certain nombre de sources d'ions dont le générateur de faisceau d'ions à haut rendement, une source d'ions continus supportée par le substrat et une source de faisceau d'ions puissant à haute tension. La source de faisceau permet une précision et une résolution considérablement améliorées, ainsi que des doses plus élevées et une perte de faisceau beaucoup plus faible qu'auparavant. L'outil dispose également d'une suite d'outils de diagnostic puissants au niveau des actifs. Il s'agit notamment d'un modèle intégré de données optiques sur faisceau qui permet l'analyse et l'affichage de paramètres optiques sur plusieurs faisceaux, et d'un équipement de détection et d'isolement des défauts (IED) qui identifie et isole les défauts de fonctionnement du système. Les résultats diagnostiques sont stockés dans une mémoire numérique sécurisée pour référence future, et fournissent des données précieuses pour l'entretien et le développement de la machine. VIISta 810 HP est l'une des solutions d'implantation ionique les plus avancées sur le marché, et offre une combinaison de précision, de performance et de sécurité. En contribuant à assurer une implantation cohérente et de qualité, il contribue à maximiser le rendement et à réduire les coûts. Elle est compacte en taille, très fiable et robuste, ce qui en fait un choix idéal pour les procédés modernes de fabrication de semi-conducteurs.