Occasion VARIAN Viista 810 #193756 à vendre en France
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Vendu
ID: 193756
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2000
Medium current implanter, 12"
Specifications:
VIISTA 810 End Station (includes polished load lock chambers)
Standard power kit
(3) High voltage warning display
Tungsten Bernas gas ion source
Bernas source Dual vaporizer
Standard Gas Box, external inert purge
External Argon (position #1)
SDS BF3 gas card (UY Bottle) (position #2)
SDS Arsenic gas card (JY Bottle) (position #3)
SDS Phosphorus gas card (JY Bottle) (position #4)
Pigtail select
External inter purge gas facility
Minimized Gas mix manifold
Bottle adapters
Rotating Mass slit assembly
Water-cooled CTI 9600 Cryogenic compressors (2 each) onboard
Chiller unit for wafer chuck (R507 refrigerant)
Xenon Gas for PFS flood gun (Lecture bottle)
Scanning faraday
12" Wafer Chuck
Dose Processor Assembly
Dose Controller
Profiler Drive Assembly
VCS Computer system
Plasma Flood Gun Kit
Closed Loop Faraday assembly
Manometer kit, 3 readouts
Spectra RGA Hardware integration
PMS particle monitoring hardware integration
Varian control system software: Rev 03.03.0118
Configuration Software Viista 810 Rev M1 config 503
SECS / GEM communication capable
Cryo Pumps:
(3) CTI 250F for endstation
(1) CTI 250F for beam-line
Roughing Pumps:
(1) Edwards iQDP40 in HV Terminal
(1) Edwards iQDP80/QMB500 for endstation
(1) scroll pump for differential seals
Turbomolecular Pumps: Varian ICE turbo pump kit
V700 on the filter, V300 on the source
Vesda Smoke Alarm System, Model VLC-500 detector
Currently installed
2000 vintage.
VARIAN Vista 810 est un implant ionique de haute performance et de surveillance pour l'implantation précise et fiable d'ions dans les substrats. Il fournit une technologie de pointe pour réaliser l'implantation la plus précise et précise des ions pour un large éventail d'applications. Le Vista 810 utilise un équipement de balayage personnalisé pour garantir l'uniformité et la précision du balayage, garantissant une qualité d'implantation supérieure. Le Vista 810 peut gérer un large éventail d'applications implantes. Son homogénéité et sa précision impressionnantes le rendent idéal pour une utilisation dans le développement ou la production de procédés semi-conducteurs avancés. Ce système est conçu pour tirer parti d'autres technologies d'implantation d'ions VARIAN, y compris les faisceaux d'ions confinés magnétiquement, les faisceaux d'ions collimatés et le balayage de faisceaux de particules. Le Vista 810 dispose d'une source d'ions ultra-haute tension avancée qui fournit une large gamme d'espèces d'ions à diverses énergies. Cette source fournit une précision d'implantation beaucoup plus élevée que les sources traditionnelles. L'unité comprend également un moniteur avancé de profil de faisceau d'ions pour mesurer la position des ions au fur et à mesure de leur implantation. Ce moniteur permet de détecter rapidement d'éventuelles distorsions dans le profil du faisceau. Le Vista 810 supporte également une gamme d'autres fonctionnalités conçues pour améliorer le processus d'implantation. La machine permet la mise en œuvre de différentes configurations de lignes de faisceau, y compris l'utilisation d'éléments supplémentaires tels que des ouvertures variables et des composants optiques pour réaliser des expériences optimisées. Le Vista 810 est également équipé de capacités avancées de collecte et d'analyse de données. Cela peut aider à caractériser avec précision le profil de l'implant pour divers matériaux, permettant d'améliorer les performances. Dans l'ensemble, le Vista 810 est un implant ionique avancé et un moniteur conçu pour fournir une précision d'implantation et une uniformité supérieures. Sa gamme de fonctionnalités et de capacités le rendent idéal pour une utilisation dans des procédés de production et semi-conducteurs avancés. Avec son outil de balayage avancé, sa source d'ions haute tension et ses capacités de collecte et d'analyse de données, le Vista 810 fournit une implantation et un suivi fiables pour une large gamme d'applications d'implants.
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