Occasion VARIAN Viista 810 #62638 à vendre en France

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ID: 62638
Medium current ion implanter, 8" CE Marked Energy Range: 5 – 810 keV Dose Range: 1xe11 – 1xe16 Programmable Tilt Angle: +/- 60deg Source Type: IHC Source Tungsten Cassette Interface: 2 Bolt-On Asyst LPT-2200 PRI Robot Handler Chuck Type: Gas Cooled ESC (Composite Platen) Options: Low Energy upgrade Thru Beam Wafer Mapping system DELL Server (IAN) VESDA Smoke Detector system (Laser Plus) GEM / SECS Std Network Comm. Capability End Station Cryo Pumps: Process Chamber: 3 Brooks/Helix OB-250F Scan Chamber: Brooks/Helix OB-250F Turbo Pumps: Source Turbo: Pfeiffer TPH 521 YP without Gate Valve Service PC Beam Line Turbo: Pfeiffer TPH 521 YP Left Load-Lock: Pfeiffer TPH 521 YP Right Load-Lock: Varian V300C Gas Configuration: AsH3 - SDS PH3 - SDS BF3 - SDS Ar (N2) - HP XE (N2) - HP Software: NCS / IAN: Win2k pro VCS: v 6.70 SP3 V 208, 3-Phase, Freq 50Hz 2001 vintage.
VARIAN Viista 810 est un implant ionique intégré et moniteur. Développé par les leaders de la technologie des implants ioniques, VARIAN, et soutenu par plus de 60 ans d'expérience dans ce secteur hautement spécialisé, Viista 810 offre des capacités renforcées dans le domaine critique de l'implantation et de la surveillance des ions. A son cœur, le 810 est un implant ionique performant. Il est capable d'implanter de multiples espèces et énergies avec une précision extraordinaire dans un large éventail de matériaux, créant un débit significativement plus élevé que jamais. Grâce à l'utilisation de faisceaux très focalisés, de tensions accélérées et d'optiques avancées, le 810 offre une plus grande gamme de contrôle et de précision par rapport aux autres machines du marché. De plus, le 810 peut implanter jusqu'à 40 ions par seconde avec une charge de courant totale allant jusqu'à 400 milliampères. Cependant, où VARIAN Viista 810 excelle vraiment, c'est ses capacités de surveillance impressionnantes. Cette machine utilise un capteur de spectroscopie d'émission optique de faisceau in situ (IOES) pour mesurer l'énergie des ions et d'autres caractéristiques du faisceau avec des performances en temps réel. Ce niveau de contrôle permet à VARIAN de développer et de mettre en oeuvre un algorithme de contrôle avancé, garantissant l'homogénéité et la reproductibilité de la couche implante. De plus, le 810 est équipé d'un système de contrôle d'altitude de pointe. En étendant la tension maximale d'accélération jusqu'à 30 kV, Viista 810 garantit un contrôle constant de l'angle du faisceau, permettant une plus grande précision avec la poursuite en rotation - même aux angles d'inclinaison élevés. Ce système de pointe offre également une sécurité accrue lors de l'implantation avec arrêt automatique si des conditions de faisceau dangereuses sont détectées. Cela permet de réduire le risque d'erreurs humaines et d'améliorer considérablement l'efficacité et la qualité de la production. En résumé, VARIAN Viista 810 est un implant ionique intégré et moniteur qui offre un contrôle et une précision améliorés par rapport aux autres modèles du marché. Il offre un niveau de contrôle sans précédent avec son capteur de spectroscopie d'émission optique à faisceau in situ et sa fonction de sécurité d'arrêt automatique qui permet en fin de compte de réduire le risque d'erreurs humaines lors des implantations.
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