Occasion VARIAN Viista 810 #9012362 à vendre en France
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Vendu
ID: 9012362
Medium current ion implanter
8" and 12" bridge capable
Software version: 7.1
Power distribution: 60 Hz
End station:
Single wafer processing
Integral orientation control
±60° 2-axis
Programmable in 1° steps
Accuracy: ±0.5°
Orientation: 0 to 360° at ±1° accuracy
Rotation: equivalent multi-tilt
Quad mode
No buffer station
No FOUP or small WIP buffer
Cryopumps: CTI 250F, (chamber), P1, P2, P3, no P5
Cryopumps 2: CTI 250F, (beamline), P4
Cryopumps 3: CTI 250F, (corrector magnet), no P6
Venturi pump for air-bearing differential seals, stage 3: Vaccubrand MZ 2T Diaphragm
Roughing pump: Edwards XDS35i
Roughing pump 2: Alcatel ADP 122P
Roughing pump 3: Alcatel ADP 122L
TMP: (1) Pfeiffer TMH-261, (1) Varian V300HT turbo molecular pump for end station load locks
TMP 2: Pfeiffer TMH 521 for the source (P1)
TMP 3: Pfeiffer TMH 521 pump for the beamline
Pump remote kit: 15 m cable length (for cryo-compressors, dry pumps and DI water system)
Gasbox 1: Ar HP UNIT 1660
Gasbox 2: BF3 HP UNIT 1660
Gasbox 3: AsH3 SDS UNIT 1662
Gasbox 4: Ph3 SDS UNIT 1662
Gasbox 5: none
Gasbox 6: none
Gas card configuration:
Machine: IMMC1C3000
Bottle 1: SDS As
Size: 10X
Bottle 2: SDS Phos
Size: 10X
Bottle 3: BF3
Size: 10X
Bottle 4: Ar
Size: 10X
Bottle 5: Xenon
Size: 7X
Gas / DISS/CGA / Torque / Head Size / Head Stamp
Argon / diss 718 / 12 lbs / 1 3/8 in / non
Sds phos / .5 in vcr / 35 lbs / 1 in / sds
Hp phos / diss 632 / 35 lbs / 1 1/4 in / tox
Sds arsine / .5 in vcr / 35 lbs / 1 in / sds
Hp arsine / diss 718 / 35 lbs / 1 1/4 in / tox
Bf3 / diss 642 / 12 lbs / 1 1/4 in / tox
Enriched boron / cga 330 / 25 lbs / 1 1/8 in / ben
Xenon / cga 180 / 12 lbs / 3/4 in / xen
Co2 / cga 180 / 12 lbs / 3/4 in / xen
Xenon / cga 580 / 47 lbs / 1 1/4 in / xen.
VARIAN Vista 810 est un implant et moniteur ionique cylindrique de pointe. Capable d'implanter jusqu'à 45 ampères de courant constant, c'est un outil inestimable pour l'implantation sous-superficielle et la surveillance de l'afflux d'ions. Le dispositif fonctionne en deux modes : pulsé avec une fréquence allant jusqu'à 5 kHz, et courant constant avec une fréquence allant jusqu'à 0,5 Hz. Pour une utilisation optimale, les tensions, les énergies, les formes d'onde et les durées d'impulsions sont tous réglables permettant une polyvalence dans le type d'implantation effectué. La Vista 810 est construite en toute sécurité. Avec sa chambre sous vide et son système de contrôle de surcharge, l'unité est conforme aux normes industrielles et de sécurité. D'autres fonctionnalités comprennent un panneau d'accès programmable pour restreindre l'accès à certaines zones de l'unité, et un interrupteur d'arrêt d'urgence à distance intégré. Le Vista 810 dispose d'un écran tactile LCD intuitif de 15 pouces. Les contrôles faciles à utiliser, ainsi que l'enregistrement complet des données et le logiciel, permettent aux utilisateurs de surveiller tous les paramètres d'implantation en temps réel. L'écran lui-même a une fonction de diagnostic intégrée et une variété de lectures qui affichent le temps écoulé, la tension de crête/courant appliqué, la dose totale appliquée, la température de l'échantillon et plus encore. L'application d'implantation du Vista 810 est incroyablement polyvalente. L'amplitude de modulation et la profondeur de soulèvement de l'implant peuvent être ajustées pour chaque implant. L'unité offre également une large gamme de flexibilité dans les profondeurs d'implantation. Avec une taille et une charge réglables de l'implant, le dispositif peut couvrir une large gamme d'implantations de surface. Le Vista 810 permet de surveiller les applications simultanées des implants, fournissant ainsi une image en temps réel des paramètres d'implantation et des charges implantées. Avec son large choix de paramètres d'implantation, le dispositif peut effectuer une grande variété d'implantations dans divers matériaux semi-conducteurs. De plus, les résultats de l'implantation peuvent être sauvegardés pour référence future. VARIAN Vista 810 est un implanteur et moniteur ionique incroyablement puissant. Non seulement il couvre toute une gamme d'applications implantes, mais son interface utilisateur intuitive, ainsi que son enregistrement de données et son logiciel complets, en font un choix idéal pour les ingénieurs et les techniciens.
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