Occasion VARIAN Viista 810 #9191583 à vendre en France
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ID: 9191583
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
Medium current ion implanter, 12"
Parts machine
Standard power kit
High voltage warning display (X3)
Tungsten bernas gas ion source
Bernas source dual vaporizer
Standard gas box
External inert purge
Polished load lock chamber
Dosing performance:
Range: 1E11-1E16 ions/cm2
Uniformity: ≤ 0.5% (for implant energies > 5 keV)
Repeatability: ≤ 0.5% (wfr-to-wfr, cassette-to-cassette)
Implant angles:
Tilter: ± 60°in X and Y
Orientation: 0 - 360°
Rotation: Equivalent multi-tilt, quad mode
Angle control accuracy and repeatability:
Beam parallelism: ± 0.1°
X & Y-tilter: ± 0.1°
Orientation: ± 1.0°
Wafer cooling:
200 mm: ≤100°C @ 800W Beam power
300 mm: ≤100°C @ 900W Beam power
Particles: <0.05/cm2 (mean value) for particle size > 0.16µm
Metals contamination:
Heavy metals: ≤ 5 ppm (TXRF)
Aluminum: ≤ 5 ppm (SIMS)
Implant condition: 80keV, 1e16/cm2
Ion mass resolution:
Energy > 5 kV, M/ΔM = 30
Energy > 20kV, M/ΔM = 50
Energy > 80kV, M/ΔM = 85
Mechanical throughput:
200 mm: > 270 WPH
300 mm: > 250 WPH (with buffer and 25 wafer cassette, Steady-state)
2008 vintage.
VARIAN Viista 810 est une machine de pointe conçue pour implanter précisément des ions dans un matériau. Ce dispositif de pointe dispose d'une technologie brevetée pour effectuer des taux d'implantation efficaces tout en permettant aux utilisateurs de suivre les progrès pendant l'implantation. Viista 810 utilise une source d'ions RF moderne pour implanter des ions dans le matériau. Ce dispositif est capable d'implanter des ions de tailles et de compositions diverses avec une grande précision. Il présente aussi un système VAFS™ Automatisé extrêmement avancé qui permet à l'utilisateur de spécifier un taux d'implantation désiré. VARIAN Viista 810 utilise une technologie avancée d'optimisation du faisceau d'ions pour ajuster la trajectoire des ions dans l'espace tridimensionnel pour une précision optimale de l'implantation. Ceci réduit drastiquement le nombre d'implantations nécessaires à un résultat souhaité. Une autre caractéristique clé de Viista 810 est la technologie de suppression de la diffusion à faible angle, qui réduit la quantité de rayonnement qui est diffusée à partir du site d'implantation. Cela contribue à réduire considérablement le risque d'exposition humaine aux rayonnements ionisants. VARIAN Viista 810 dispose également d'un monochromateur avancé qui permet à l'utilisateur de séparer les ions en fonction de leurs spectres d'énergie. Cela garantit que seuls les ions désirés sont implantés dans le matériau, ce qui contribue à améliorer encore la précision et le rapport coût-efficacité. L'interface utilisateur graphique avancée du dispositif permet également aux utilisateurs de suivre l'avancement du processus d'implantation en temps réel. L'appareil comprend une variété de mesures de sécurité différentes, y compris une fonction d'arrêt automatique qui s'active si l'appareil surchauffe. Cela permet d'assurer une sécurité optimale lors de l'utilisation du dispositif. Dans l'ensemble, Viista 810 est un implant et un moniteur d'ions avancés et très efficaces. Il présente une variété de caractéristiques et de technologies conçues pour accroître la précision et la rentabilité du processus d'implantation tout en réduisant les risques associés à l'exposition aux rayonnements.
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