Occasion VARIAN Viista 810 #9411062 à vendre en France

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ID: 9411062
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Implanter, 8" Terminal PD With ESC Platen Gas box Module: Control Accel tube Terminal Beam line Control system End station Process chamber DI Cart Accel stack assembly Air bearing assembly Source region PFG assembly PC.
VARIAN Vista 810 est un équipement d'implantation et de surveillance ionique de haute fiabilité et de pointe dédié à répondre à un large éventail d'exigences de processus dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il dispose d'une solution totalement personnalisable avec un haut degré de flexibilité de processus pour répondre aux besoins spécifiques des clients. Lors du prototypage, Vista 810 facilite la caractérisation rapide et fiable et l'intégration de processus complexes pour soutenir le flux complet de qualification des produits. Il est construit sur la célèbre architecture VARIAN type 810, qui a été testé et prouvé au fil des ans ; son interface utilisateur intuitive et ses outils graphiques intuitifs lui permettent d'être facilement exploité et entretenu. Le Vista 810 dispose de deux types d'implantateurs ioniques ; l'implanteur traditionnel à courant moyen, communément appelé implanteur à courant continu, et l'implanteur avancé à haut courant, également appelé implanteur à courant alternatif. Les implantateurs de courant moyen ont une résolution standard de 0,1 μ m, qui peut être modifiée avec des composants correcteurs d'image optionnels. La capacité de contrôler avec précision les profils de dopage est soutenue par la technologie brevetée du septum magnétique. Le Vista 810 permet la meilleure uniformité ionique disponible dans n'importe quel système d'implantation. L'implantation avancée à haut courant offre une flexibilité maximale grâce à un petit faisceau focalisé sur une grande surface pour implanter de grands substrats. Il offre également un contrôle serré des processus, ce qui se traduit par des temps de cycle rapides et une uniformité ionique précise sur l'ensemble du substrat. L'unité de faisceau à huit zones assure un suivi rapide et précis du faisceau pour une implantation efficace. Le Vista 810 est également livré avec un moniteur ADIStab avancé et une machine de stimulation qui détecte et façonne simultanément les influences de l'environnement de processus. L'outil est capable à la fois de détecter et de contrôler les variables de processus imprévues grâce à des fonctions de surveillance et de stimulation précises, axées sur le temps et neutres sur l'énergie, fournissant un contrôle de processus précis et fiable. L'actif est conçu pour une implantation précise et efficace dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, et il est livré avec une variété de processus, de contrôles et d'outils d'analyse pour un fonctionnement précis. Le modèle offre également une surveillance de la sécurité des processus, garantissant que la bonne combinaison de paramètres est maintenue pour obtenir des résultats optimaux. Le Vista 810 est un outil fiable pour simuler, analyser et optimiser les processus implants, tout en fournissant des résultats précis et précis avec une fiabilité sans compromis.
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