Occasion VARIAN VIISta 810EHP #9096214 à vendre en France
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Vendu
ID: 9096214
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Medium current implanter, 12"
End station
Beamline module
Terminal
Buffer station
Service PC
Door cart
Post cart
Roof cart
Main PD cart
DI cart
Chiller
Profiler
Accel column
Floor panel
Remote rack
Remote cable
2004 vintage.
VARIAN VIISta 810EHP est un implant et un moniteur ionique de haute performance pour les procédés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs les plus avancés au monde. Le 810EHP combine une productivité et une précision élevées avec les dernières technologies MEMS, SOI et CMOS de pointe. Le 810EHP fournit un équipement entièrement automatisé d'implantation en boucle fermée, permettant aux utilisateurs de surveiller et de contrôler activement le processus d'implantation pour une précision et une cohérence de production accrues. Le système est capable d'ajuster rapidement l'énergie et la dose du faisceau, ce qui permet aux utilisateurs de mieux contrôler les caractéristiques de l'implant telles que la longueur de trajet, l'angle latéral et le profil dopant. Le 810EHP dispose d'une alimentation multizone sophistiquée à aimant unique et d'un scanner à faisceau à haut rendement, assurant un contrôle précis des implants. Le scanner à huit zones donne à l'appareil une vitesse et une flexibilité accrues. Le 810EHP dispose également de capacités avancées d'analyse en temps réel, permettant aux opérateurs d'ajuster la stabilité du faisceau et la dose pendant les opérations d'implant. Le générateur d'imagerie numérique à fente intégrée et haute résolution permet aux opérateurs de surveiller et de contrôler l'angle de l'implant pendant l'implantation, ce qui est important pour atteindre les profils de dopants souhaités. Le 810EHP est capable de produire un profil d'implant cohérent, précis et répétable avec une dose uniforme. Le 810EHP est conçu pour répondre aux exigences exigeantes de la production à haut volume et à grande vitesse. Il dispose d'une machine de refroidissement puissante et silencieuse et d'une alimentation électrique lourde avec une stabilité opérationnelle à long terme pour les cycles de haute température et de service. Le 810EHP est également équipé d'une cassette de plaquette robuste de 11 positions, avec un mécanisme de charge/déchargement fiable et une vitesse de cassette réglable pour un débit plus rapide. Le 810EHP est un implant et un moniteur ionique haute performance avec une précision, une cohérence de production et un contrôle accrus pour les procédés avancés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. L'alimentation multizone intégrée et le générateur d'imagerie numérique à fente avancée fournissent précision, stabilité et répétabilité. Le 810EHP est conçu pour une production à haut volume et à grande vitesse, avec un outil de refroidissement puissant et silencieux et une alimentation électrique robuste, une cassette plaquette pratique, et un mécanisme de charge/déchargement rapide pour un débit plus rapide.
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