Occasion VARIAN VIISTa 810XP #9111187 à vendre en France
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VARIAN VIISTa 810XP est un implant et un moniteur ionique de pointe conçu pour une grande variété de procédés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cet équipement de pointe est capable de manipuler à la fois des configurations monobloc et bi-barillet pour les applications RIB (Razor Edge Ion implanter Beam) et AVS-Ion (Atomized Vacuum Spout Ion). Il est capable d'atteindre des débits de dose élevés, une précision critique et un débit inégalé. Il est également équipé d'un système de commande de faisceau intelligent qui régule avec précision les courants de faisceau en fonction des besoins. VARIAN VIISTA 810 XP a un certain nombre de caractéristiques uniques qui en font la solution idéale pour une variété d'applications différentes. Sa source d'ions fonctionne dans un environnement à ultra-haut vide (UHV), ce qui lui permet d'atteindre des résolutions très élevées. Sa source accélère les ions vers des énergies et des puissances élevées allant de 30 à 140 keV pour diverses espèces, dont le silicium, le borure de silicium, le bore, l'arsenic, le phosphore et le néon. Il a une bonne conception mécanique qui crée une chambre à faible poussière de gaz, ce qui contribue également à réduire les pertes de puissance et la diffusion du faisceau. VIISTa 810XP dispose également d'un sous-système de contrôle de configuration qui peut être utilisé pour maintenir un haut degré de contrôle du processus et de la qualité du faisceau. Cette unité se compose d'un contrôleur de machine à vide, qui peut être connecté à plusieurs systèmes hôtes, ainsi que d'un générateur de rapports intégré qui fournit une analyse de données en temps réel et des rapports prédéfinis. En outre, l'outil dispose d'une gamme d'alarmes et de diagnostics qui comprennent à la fois des fonctions de maintenance prédictive et corrective. VIISTA 810 XP peut également être configuré pour effectuer des processus de parage et de profilage de profondeur. Il est équipé d'une source multi-zones qui permet l'implantation, le réglage de plage et le profilage simultané selon des paramètres définis par l'utilisateur. L'actif dispose également d'un tireur très précis et d'un module de contrôle de l'énergie qui facilite la manipulation des implants. Enfin, son amplificateur à faible bruit et faible énergie assure un réglage précis de la puissance du faisceau sans générer de bruit sonore. Dans l'ensemble, VARIAN VIISTa 810XP est un implanteur et un moniteur d'ions très avancés qui fournit des processus très stables et une excellente qualité de faisceau. Il est idéal pour une large gamme d'applications de traitement et de fabrication de semi-conducteurs. Il est facile à configurer et dispose des outils nécessaires pour surveiller et maintenir un haut degré de contrôle des processus.
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