VARIOUS (Implantateurs et moniteurs ioniques) d'occasion à vendre

L'implantation ionique est un procédé largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour introduire des impuretés dans les plaquettes de silicium afin de modifier leurs propriétés électriques. Les implantateurs ioniques sont des machines sophistiquées qui accélèrent et dirigent les ions vers la surface de la plaquette en utilisant des champs électromagnétiques. Ils offrent un contrôle précis de la dose, de l'énergie, de l'angle et de la profondeur d'implantation, ce qui donne des résultats très précis et reproductibles. Divers fabricants produisent des implantateurs ioniques avec des spécifications et des caractéristiques différentes. Parmi ces fabricants, citons les matériaux appliqués, Axcelis Technologies et Varian Semiconductor Equipment Associates. Ces fabricants offrent une large gamme d'analogues et de modèles pour répondre aux différentes exigences des clients. Les avantages des différents implantateurs d'ions varient en fonction de leur conception et de leurs capacités. Les avantages communs comprennent un débit élevé, une excellente qualité de faisceau, un contrôle flexible des paramètres et un équipement de surveillance avancé. Les systèmes de surveillance sont des composants essentiels des implantateurs d'ions car ils assurent la stabilité des processus et le contrôle de la qualité. Ces unités comprennent des moniteurs de plasma, des moniteurs de courant de faisceau et des moniteurs de température de plaquettes. Un exemple de système de surveillance est le Lot d'Implanteurs (LI) développé par Varian Semiconductor Equipment Associates. LOI surveille l'intensité et l'angle du faisceau, détecte les écarts, corrige et calibre automatiquement le faisceau. Un autre exemple est le lot d'implantateurs ioniques (LOI2) développé par Applied Materials, qui se concentre sur la surveillance et l'optimisation du processus d'implantation pour améliorer l'intégrité et la qualité des implants. Dans l'ensemble, les implantateurs ioniques et leurs machines de surveillance jouent un rôle crucial dans la fabrication des semi-conducteurs en offrant un contrôle précis et en assurant la précision et l'efficacité du processus d'implantation ionique.