Occasion FEI Helios NanoLab 460HP #9192090 à vendre en France
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Vendu
ID: 9192090
Style Vintage: 2014
Dual beam system
X-Ray spectrometers (EDS / WDS)
With resolution down to 30 nm
Specification:
Electron source:
Schottky thermal field emitter
Ion source:
Gallium liquid metal, 1000 hours
Landing voltage:
20 V – 30 kV SEM
500 V – 30 kV FIB
SEM Resolution:
Optimal WD:
0.6 nm at 2–15 kV
0.7 nm at 1 kV
1.5 nm at 200 V With beam deceleration
Coincident WD:
0.8 nm at 15 kV
0.9 nm at 5 kV
1.2 nm at 1 kV
FIB Resolution coincident WD:
4.0 nm at 30 kV (Using preferred statistical method)
2.5 nm at 30 kV (Using selective edge method)
EDS Resolution: < 30 nm On thinned samples
In situ TEM sample liftout: Easylift EX nanomanipulator
Stage:
(5) Axes all piezo motorized
XY Motion: 100 mm
Quickflip shuttle
Sample types:
Wafer pieces
Packaged parts
TEM
Grids
Whole wafers: Up to 100 mm
Maximum sample size:
Diameter: 100 mm
User interface:
Windows GUI
With integrated SEM, FIB, GIS, simultaneous patterning and imaging mode
(3) LCD Monitors: 24" Widescreen
Key options:
Beam chemistry:
Standard gas injection systems
Multichem gas delivery system
Hardware:
EDS
WDS & EBSD Analysis: No
2014 vintage.
L'équipement de broyage ionique de haute performance et de haute précision FEI Helios NécurLab 460HP est conçu pour réaliser la fabrication à l'échelle nanométrique de divers matériaux. Il utilise des ions énergétiques pour éliminer rapidement et précisément le matériau de surface des substrats. Ce système de fraisage ionique est capable de fraiser des matériaux jusqu'à l'échelle nanométrique et peut être utilisé pour un large éventail d'applications techniques. La configuration FIB/SEM de l'unité combine la microscopie électronique à balayage à émission de champ (FESEM) et la technologie FIB. Le FIB peut être utilisé pour broyer, créer des caractéristiques structurelles et graver des structures à motifs complexes sur un substrat. Helios Nérabilité Lab 460HP permet des températures de substrat allant jusqu'à 650 ° C, permettant un large éventail de matériaux traitant des applications. La machine a une capacité d'analyse de masse qui est capable de surveiller en temps réel la perte de masse pendant le fraisage ; il s'agit d'un outil inestimable pour contrôler et modifier l'uniformité des structures broyées. L'outil dispose d'un étage d'inclinaison tridimensionnel unique pour faciliter le fraisage à angle élevé. Il a également été conçu pour la navigation de haute précision, permettant un ciblage précis des opérations de fraisage. Cela minimise la quantité de matière retirée du substrat lors des opérations de fraisage, et contribue à réduire les dommages potentiels causés par l'enlèvement de matière collatérale. Le FEI Helios Nérabilité Lab 460HP dispose également d'un outil de contrôle des retours pour faciliter l'optimisation et le suivi des processus. Cette fonctionnalité permet aux utilisateurs de surveiller l'état des échantillons pendant le traitement, ainsi que les taux de fraisage. Toutes ces caractéristiques contribuent au contrôle global plus élevé du modèle sur le processus de fraisage. Helios Nérabilité Lab 460HP est conçu pour être personnalisable, et l'équipement peut être co-optimisé avec d'autres outils tels que les systèmes de gravure et de dépôt pour répondre aux besoins spécifiques des clients. Le système peut également être intégré à d'autres outils tels que les systèmes de stockage, d'analyse et de visualisation des données pour analyser les structures et les échantillons broyés. L'unité de nanofabrication révolutionnaire FEI Helios Nérabilité Lab 460HP permet un contrôle précis et un enlèvement des matériaux à l'échelle nanométrique. Cette machine peut être utilisée dans un large éventail d'industries et d'applications, permettant des fabrications de haute précision à petite échelle.
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