Occasion FEI / MICRION 2500 #9294116 à vendre en France
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FEI/MICRION 2500 est un équipement de fraisage ionique qui fonctionne en pulvérisant du matériel avec un faisceau d'argon ou d'autres ions inertes pour créer des caractéristiques sur une surface d'échantillon. Le système intègre une conception à deux colonnes, qui permet une polyvalence en termes de configurations de chambres disponibles et d'options supplémentaires, telles que le chauffage d'échantillons, l'entrée/sortie de gaz, des étages d'échantillons supplémentaires et d'autres contrôles pour la plus grande gamme d'applications. L'outil dispose également d'une chambre de gravure avec des géométries personnalisables incluant de grandes zones uniformes pour de grands échantillons, ou de petites zones avec des rapports d'aspect élevés et des profils linéaires. FEI 2500 dispose d'une puissante source d'ions à double port (RF) ainsi que d'une source d'ions à haute puissance directe ou à décalage continu, toutes deux dotées d'une technologie de blindage active. Cette unité élimine l'émission secondaire d'électrons, assurant un contrôle plus précis du courant du faisceau. La machine offre également une gamme d'options pour la commande à courant variable, la direction de faisceau, le réglage de la focale et la commande du rayon de faisceau. La conception à double chambre à vide haute de MICRION 2500 utilise un outil de verrouillage de charge avec des fonctions de surveillance pour un fonctionnement fiable à long terme et une stabilité des actifs haut de gamme. L'outil dispose également d'une gamme de systèmes de confinement à base d'aimants pour réduire l'accumulation de charges et la contamination des échantillons. 2500 est équipé d'options de contrôle de précision, y compris la direction active de faisceau, l'alignement et la focalisation pour des performances optimales et une capacité de vitesse de pulvérisation accrue. FEI/MICRION 2500 comprend un modèle complet d'automatisation des processus pour l'exploitation de la source hyperfréquence ainsi que la création de recette de gravure programmable. Cette combinaison avec l'interface graphique utilisateur et le réseau intégré permettent une opération conviviale pour tout niveau d'utilisateur. FEI 2500 produit des tailles de fonctionnalités aussi petites que 5 nm, ce qui en fait un outil puissant avec une large gamme d'applications, comme pour le dépôt de couches minces, le « séchage » de matériaux diélectriques bas, et la création de caractéristiques de ratio d'aspect élevé dans les matériaux semi-conducteurs. Tous ces avantages se combinent pour faire de MICRION 2500 un élément essentiel de tout laboratoire qui nécessite de la précision dans son travail.
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