Occasion FEI / MICRION 9500 EX #9150796 à vendre en France
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ID: 9150796
Focused Ion Beam (FIB) system
I-Gun type: 5nm Column
Beam current: 3pA~931pA (50kV)
Depo system:
Tungsten
Tmcts
O2
H2O
Cl2 / Br2
XeF2
Vacuum types:
Turbomolecular pump
(2) Mechanical pumps
(2) Ion getter pumps
Stage type: 200 x 200 mm
Loadlock type: Loadlock system
PS / OS: IBM RISC System / 6000 43P Model 140 computer / AIX 4.1.5
Detector: MCP.
L'équipement de fraisage ionique FEI/MICRION 9500 EX est un appareil de fraisage ionique avancé conçu pour la fabrication de structures et de composants à l'échelle nanométrique. Il est capable de produire des structures de surface complexes en utilisant des courants de faisceau élevés de faible énergie et de forte accélération ionique. Il utilise des faisceaux d'ions gallium pour broyer finement la surface d'un large éventail de matériaux, y compris les métaux, la céramique et les semi-conducteurs. Le dispositif offre également la possibilité de produire des nanostructures 3D avec des tolérances serrées. Le système de fraisage ionique FEI 9500 EX utilise un faisceau ionique à balayage focalisé qui lui permet de produire des surfaces avec de petites caractéristiques et une grande précision. L'unité est automatisée avec une interface conviviale qui permet aux utilisateurs d'ajuster facilement les paramètres au besoin. Il est également équipé d'une machine d'analyse XPS pour suivre les progrès de fraisage, permettant aux utilisateurs de vérifier les surfaces et d'ajuster rapidement les étapes de fraisage pour les résultats souhaités. En termes de broyage ionique, MICRION 9500 EX offre une large gamme d'ions, dont le gallium (Ga +), le néon (Ne +), le xénon (Xe +), l'hélium (He +), l'aluminium (Al +), le bore (B +) et le titane (Ti +). Le procédé de fraisage ionique est précis et permet un contrôle latéral précis du faisceau d'ions sur la surface de l'échantillon. De plus, cet outil offre une large gamme de paramètres de fonctionnement tels que la tension accélérée, les courants de faisceau, les résolutions, le profil de tache de faisceau, la plage de balayage du faisceau, la vitesse de balayage, les temps de séjour et la température de l'échantillon. 9500 EX est équipé d'un puissant actif informatique et d'une variété d'outils logiciels qui permettent aux utilisateurs de programmer des processus personnalisés. Ce modèle dispose d'une mémoire permanente intégrée qui stocke tous les paramètres et paramètres utilisés pour chaque travail, permettant la re-création de tout processus de fraisage. De plus, une interface graphique intuitive aide les utilisateurs à suivre les progrès du broyage et fournit des outils d'analyse et de rapport pour surveiller et analyser les résultats du broyage. Dans l'ensemble, FEI/MICRION 9500 EX offre un équipement de fraisage ionique puissant et précis avec un excellent niveau d'automatisation et une interface conviviale. C'est le choix parfait pour le fraisage des nanostructures et des composants, car il offre un procédé de fraisage précis et reproductible. Grâce à ses excellents paramètres de fraisage, son large éventail de types d'ions et son interface automatisée, ce système est une excellente décision pour ceux qui recherchent des capacités de fraisage ionique avancées.
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