Occasion FEI / MICRION 9500 #9210449 à vendre en France
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ID: 9210449
Focused Ion Beam (FIB) system, parts machine
Source:
Gallium ion source
Resolution: 5 nm (Potentially up to 10nm)
Image:
Micro channel plate
Analog channelling with 256 grey level for high contrast
Gas injector:
Tungsten (for deposition)
Chlorine for (selective etching)
XeF2 for (selective etching)
Spare port for other gases
Charge:
Neutralization: E gun (Filament issue)
Load / Unload: Fully automatic load lock
Vacuum system: PFEIFFER Turbo pump system with fore pump
Stage: 8”
(6) Axes eucentric tilt stage
Tilt: 0–60°
Rotation: 360° (±180°)
Spare parts included
Power supply: 50 kV.
FEI/MICRION 9500 est un équipement de fraisage ionique conçu pour graver, modifier et éliminer des couches ultra-minces d'échantillons déposés cryogéniquement pour diverses applications de recherche et de l'industrie. Ce système permet un contrôle précis des paramètres du bombardement ionique, y compris l'angle d'incidence, le courant, la tension de coupure et la pression. Il est conçu pour la gravure douce de zones aussi petites que 10 nm ou plus, ce qui le rend idéal pour la microscopie électronique, la caractérisation des matériaux et la recherche scientifique. FEI 9500 utilise un faisceau d'électrons pour générer des particules énergétiques pour bombarder une couche d'échantillon de matériau, érodant la surface. La console de commande de l'unité permet de régler divers paramètres, y compris l'énergie, la pression, la tension de coupure et l'angle incident. En ajustant les paramètres, l'utilisateur peut déterminer la quantité de surface d'un échantillon à travailler, ainsi que la profondeur de la surface qui peut être gravée ou autrement altérée. Le faisceau d'ions généré par la machine est réglable électroniquement à un seul chiffre Angstroms. Il est également capable de courants de canon à ions variables allant de 0.5mA à 10mA, avec une énergie d'impact maximale de 0,9 kiloélectron volts (KeV). De plus, l'angle d'impact du faisceau d'ions peut être réglé de 0 ° à 80 ° et la pression dans la chambre est régulée par une pompe d'appoint. La chambre à vide MICRION 9500 est capable de presser jusqu'à 1 x 10-6 Torr, ce qui permet d'effectuer les gravures les plus précises. De plus, l'outil est équipé d'un viseur ultra-vide qui assure un atout d'imagerie complet, avec une analyse d'échantillon WDS/EDS disponible avec les contrôles d'imagerie manuels. Dans l'ensemble, 9500 est un modèle fiable et précis pour la gravure ionique et le forage d'échantillons. Il offre un contrôle inégalé sur les paramètres de bombardement et une console facile à utiliser, garantissant que toute modification de surface est soigneusement et précisément exécutée. Cet équipement est inestimable pour la recherche et d'autres travaux scientifiques qui nécessitent un contrôle précis de la gravure d'échantillons délicats.
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