Occasion FEI / MICRION DB865 #9292680 à vendre en France

FEI/MICRION DB865 est un équipement de fraisage ionique haute résolution conçu pour la gravure précise de petites caractéristiques sur un large éventail de matériaux. Ce type de système est idéal pour des applications de recherche et développement dans l'électronique et la fabrication de semi-conducteurs, et a été utilisé sur une grande variété d'applications telles que les implants médicaux, les dispositifs MEMS et d'autres surfaces très sensibles. Les principaux composants de l'unité FEI DB865 comprennent un manipulateur entièrement automatisé, une alimentation en courant continu, un pistolet à ions refroidi à l'azote et une chambre d'enceinte à vide. Le manipulateur de la machine est utilisé pour contrôler l'échantillon dans les directions X, Y, Z et angulaire. L'alimentation en courant continu et le canon à ions refroidi par l'azote sont utilisés pour générer le faisceau d'ions utilisé pour graver la surface de l'échantillon. Le canon à ions est équipé d'une lentille de focalisation électrostatique pour diriger le faisceau d'ions sur une zone localisée de l'échantillon. La chambre d'enceinte à vide maintient le vide nécessaire à la gravure, et fournit également un chauffage/refroidissement à haute température, et des conditions de vide ultra-élevé (UHV) pour les dispositifs de gravure sensibles. L'outil MICRION DB865 est capable de flexion de faisceau et de balayage de surface, ce qui lui permet de fraiser des zones relativement grandes d'un échantillon à la fois. La précision de la gravure est déterminée par la taille de la tache focale du canon à ions, qui peut aller de 10 à 500 nm. La taille maximale de l'échantillon accepté par le manipulateur est de 180 mm x 90 mm, et l'alimentation électrique limitée permet un courant de gravure allant jusqu'à 1,5 mA. En outre, l'actif peut être utilisé à différentes pressions de gaz pour différentes applications de gravure, ainsi que la gravure par enlèvement d'oxyde et la gravure par enlèvement d'alliage. DB865 modèle est équipé d'un logiciel de contrôle hors ligne qui permet à l'utilisateur de configurer graphiquement les paramètres de gravure, ainsi que de surveiller et de contrôler l'équipement pendant le fonctionnement du processus. De plus, la capacité de surveillance à distance peut être utilisée pour surveiller l'état opérationnel du système lorsque l'unité est en service. Dans l'ensemble, FEI/MICRION DB865 est une machine de fraisage ionique polyvalente et robuste qui est idéale pour la gravure précise de petites surfaces sur différents matériaux. Avec sa grande précision et son large éventail de capacités de gravure, l'outil FEI DB865 est un outil précieux pour des applications de recherche et développement dans les industries de l'électronique et des semi-conducteurs.