Occasion FEI / MICRION Vectra 986FC #293718111 à vendre en France
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ID: 293718111
Taille de la plaquette: 8"
Focused Ion Beam (FIB) system, 8"
Upgraded to IET / WDR System
Circuit editor: 28 nm
Ion mill column
Acceleration: 50 keV
Ion column resolution: 5 nm
Bipolar power supply
Laser interferometer stage, 8"
Proprietary charge neutralization system
(14) User defined apertures
Pre-soak chamber
(2) Gas Assisted Etching (GAE) stations
Wafer holder, 8"
Current monitor sample holder
Tungsten metal deposition
Hard Disk Drive (HDD), 500 G
RAM Memory, 3400 Megabyte
Gases:
Chlorine / Bromine
Xenon difluoride
Siloxane (TMCTS)
Oxygen
Tungsten
Display:
Colour monitor, 21"
Line resolution (1280 x 1024)
Virtual apertures: (14) Beam currents
Gas delivery system:
Metal (Cl2)
Dielectric (XeF2)
(2) GAE Stations
Penta / Tri nozzle configuration
Dielectric deposition:
Tetra Methyl Cyclote Trasil Oxane (TMCTS)
Oxygen
No IR cameras.
FEI/MICRION Vectra 986FC est un équipement sophistiqué de fraisage ionique conçu pour l'enlèvement de matériaux de précision et la modification de surface dans les domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la science des matériaux et de la nanotechnologie. Cet outil de pointe permet aux chercheurs et aux ingénieurs d'obtenir une précision de sous-microns dans les tâches de broyage et de polissage, ce qui en fait un instrument essentiel pour fabriquer des structures complexes avec une grande précision. Au cœur du système FEI Vectra 986FC est une source de faisceau d'ions qui génère des ions de haute énergie, typiquement en argon ou en gallium, pour bombarder la surface de l'échantillon. Ces ions éloignent le matériau de la surface, éliminant sélectivement les couches pour créer des motifs et des structures précis. Le faisceau d'ions peut être contrôlé finement en termes d'énergie, d'angle et d'intensité, ce qui permet aux utilisateurs d'adapter le processus de fraisage à leurs besoins spécifiques. Une des caractéristiques clés de MICRION Vectra 986FC est ses capacités d'imagerie et de ciblage avancées. L'unité est équipée d'outils d'imagerie haute résolution, tels que la microscopie électronique à balayage (SEM) et l'imagerie par faisceau ionique focalisé (FIB), qui permettent de visualiser en temps réel la surface de l'échantillon pendant le broyage. Cela permet aux utilisateurs de positionner avec précision le faisceau d'ions et de suivre la progression du fraisage avec une résolution sous-nanométrique. En outre, Vectra 986FC propose une gamme de modes et techniques de fraisage pour s'adapter à divers matériaux et applications. Les utilisateurs peuvent choisir entre le fraisage à large poutre pour l'enlèvement rapide de matériaux sur de grandes surfaces ou le fraisage à faisceau ionique focalisé pour le broyage haute résolution et la sculpture détaillée. En outre, la machine supporte le refroidissement cryogénique et les processus de dépôt assistés par faisceau d'ions, élargissant ses capacités pour diverses tâches de traitement des matériaux. En termes d'automatisation et de facilité d'utilisation, FEI/MICRION Vectra 986FC est équipé d'interfaces sophistiquées de contrôle logiciel et de programmation. Les utilisateurs peuvent définir des séquences de fraisage complexes, définir des paramètres pour la manipulation du faisceau ionique et créer des recettes de fraisage personnalisées pour des résultats reproductibles et fiables. L'outil dispose également de mécanismes de rétroaction automatisés pour assurer un contrôle précis de la profondeur de fraisage, de l'uniformité et de la qualité de surface. En outre, FEI Vectra 986FC est conçu pour la polyvalence et l'évolutivité, avec des options pour des modules et accessoires supplémentaires pour améliorer sa fonctionnalité. Il s'agit notamment de systèmes d'injection de gaz pour le broyage d'ions réactifs, de chambres de préparation d'échantillons in situ pour l'analyse multimodale et de porte-échantillons pour la manipulation de diverses tailles et formes d'échantillons. L'actif peut être intégré à d'autres outils d'analyse, tels que la spectroscopie à rayons X dispersive d'énergie (EDS) et la spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS), afin de fournir une caractérisation et une analyse complètes des matériaux. Dans l'ensemble, MICRION Vectra 986FC modèle de fraisage ionique se distingue comme une solution de pointe pour le traitement de matériaux de haute précision et la modification de surface. Ses fonctionnalités avancées, ses capacités d'imagerie et ses fonctionnalités d'automatisation en font un outil puissant pour la recherche, le développement et la fabrication d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs et au-delà. En offrant un contrôle et une flexibilité inégalés dans les procédés de broyage ionique, Vectra 986FC permet aux utilisateurs de repousser les limites de l'innovation en nanotechnologie et en science des matériaux.
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