Occasion FEI / MICRION Vectra Vision #9200449 à vendre en France
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ID: 9200449
Particle beam system
I-Gun type: 5nm Column
Beam current: 3pA~931pA (50kV)
Depo system:
Tungsten
Tmcts
O2
H2O
Cl2 / Br2
XeF2
Vacuum type:
Turbomolecular pump
(2) Mechanical pumps
(2) Ion getter pumps
Stage type:
OBIC Laser: 200mm x 200mm
Loadlock type: Loadlock system
PS / OS: IBM RISC System / 6000 43P Model 150 computer / AIX 4.3
Detector: MCP.
FEI/MICRION Vectra Vision est un équipement de fraisage ionique conçu pour usiner divers matériaux pour des procédés d'usinage nano-abrasifs de grande surface. Il combine fraisage de haute précision, automatisation avancée, et un contrôleur de processus intelligent pour maximiser le débit et les performances. FEI Vectra Vision offre un certain nombre de fonctionnalités conçues pour augmenter la productivité et la précision. Les principaux composants de MICRION Vectra Vision sont un ensemble de têtes de fraisage magnétiquement suspendues, programmables, un chargeur de masque de type tweezer, un plateau rotatif à commande de mouvement et une source de plasma intégrée. Les têtes de fraisage de haute précision sont capables de manipuler une variété de matériaux, notamment des métaux, des polymères, des matériaux amorphes et des semi-conducteurs. La source de plasma intégrée permet un broyage ionique sans préconditionnement avant liquide. Le plateau rotatif commandé en mouvement fournit une précision d'enregistrement de surface de +/-2,2 µm et des vitesses de rotation allant jusqu'à 16 500 tr/min. Enfin, le chargeur de masque de style pinceau est conçu pour transférer rapidement et avec précision les masques et substrats dans et hors des chambres du moulin. Vectra Vision est également équipé de puissantes capacités d'automatisation, de contrôle et de logiciel. La suite logicielle de l'installation est conçue pour surveiller l'ensemble du processus, du chargement et du positionnement des substrats à la sélection et au fraisage des régions, et est optimisée pour maximiser la productivité et la précision. De plus, l'architecture modulaire et le contrôleur personnalisé intégré de FEI/MICRION Vectra Vision garantissent des résultats fiables et reproductibles sur plusieurs cycles de fraisage. La modularité de l'appareil permet également une expansion facile des fonctions de base aux fonctions avancées. Enfin, FEI Vectra Vision est équipé des dernières fonctionnalités de sécurité pour la protection des utilisateurs. Les technologies avancées de détection laser et collimateur fournissent une rétroaction en temps réel pour s'assurer qu'aucun personnel n'est exposé à des conditions de travail dangereuses. De plus, la machine est conforme à toutes les réglementations de sécurité applicables, y compris les normes OSHA et ANSI. En conclusion, MICRION Vectra Vision est un outil avancé de fraisage ionique conçu pour les procédés d'usinage nano-abrasifs de grande surface. Il combine fraisage de haute précision, automatisation avancée, et un contrôleur de processus intelligent pour maximiser le débit et les performances. En outre, l'actif est équipé de puissants dispositifs de sécurité pour la protection des utilisateurs.
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