Occasion FEI / MICRION Vertra vision #9145593 à vendre en France
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ID: 9145593
Particle beam system
I-Gun type: 5nm column next gen
Beam current: 3pA~931pA (50KV)
Depo system:
Tungsten
Tmcts
O2
H2O
Cl2 (or Br2)
XeF2
Vacuum type:
Turbo molecular pump
(2) Mechanical pumps
(2) Ion getter pumps
Stage type: OBIC Laser 200 x 200 mm
Loadlock type: Loadlock system
PS / OS:
IBM RISC System
6000 43P Model 150 computer
AIX 4.3
Detector: MCP
Others: FIB Assist(Version 0.9).
FEI/MICRION Vertra vision est un équipement polyvalent de fraisage ionique développé pour les utilisateurs de tous niveaux. Il est conçu pour offrir une flexibilité maximale pour la préparation de surface, la préparation de disque, l'épaisseur de fraisage et les applications de gravure. Le système permet à l'utilisateur d'obtenir des résultats de haute précision, fiables et reproductibles. L'unité de vision FEI Vertra se compose d'une série de cellules de détection de gaz et d'ionisation reliées à une chambre à vide, une source d'ions et une ligne de faisceau. La machine permet une manipulation précise et décalée du substrat avec diverses intensités de faisceau d'ions. De plus, la fonction de direction de faisceau permet à l'utilisateur d'ajuster finement les paramètres du processus de fraisage. Les caractéristiques de la vision MICRION Vertra comprennent la focalisation précise du faisceau, un fonctionnement à faible kV avec des valeurs de courant très élevées et la capacité de contrôler la direction du faisceau, ainsi que la vitesse et le débit de fraisage. Des capteurs de gaz haute pression, des capacités de micro-échantillonnage, une vanne à membrane pour le réglage fin du processus et des fenêtres résistantes à la contamination sont également présents. De plus, l'outil offre une table vierge, un contrôle de mouvement, un affichage à l'écran des paramètres de balayage et un obturateur externe de faisceau pour une sécurité accrue. Vertra vision offre d'excellents paramètres de fraisage et d'uniformité. Il est idéal pour les dépôts en couches minces, les applications de procédés semi-conducteurs, les dépôts de nano-particules et les applications par gravure. La haute température et la capacité de pression de l'actif est également idéale pour une gravure de haute précision, et il est capable d'optimiser l'amincissement du faisceau d'ions et l'épaisseur de gravure par faisceau d'ions. Il a même été démontré qu'il facilitait la réalisation de structures multicouches. Dans l'ensemble, la vision FEI/MICRION Vertra est une solution de broyage d'ions polyvalente et évoluée, idéale pour diverses applications industrielles et de recherche. Il offre un haut niveau de précision et de fiabilité, permettant à l'utilisateur de contrôler avec précision son processus de fraisage et de produire des résultats reproductibles. Les caractéristiques et les fonctions avancées du modèle en font un excellent choix pour des exigences de fabrication et de processus exigeantes.
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