Occasion GATAN 600 TMP #9284031 à vendre en France
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GATAN 600 TMP est un équipement de fraisage ionique utilisé pour la microfabrication de matériaux semi-conducteurs et d'autres substrats délicats. Il est spécifiquement conçu pour fournir un niveau élevé de précision et de précision pour les processus manuels, semi-automatiques et entièrement automatisés. Le système est composé de plusieurs composants dont une trame source rotative, un meuleur ionique à angle oblique, un ou deux grands étages d'échantillonnage, un cône de collecte, un filtre post-ionique et un contrôleur à quatre axes pour le contrôle de précision des faisceaux. L'unité dispose d'une trame de source rotative et de deux sources d'ions pompées différemment. Ces composants sont responsables de la génération de flux focalisés d'ions à haute énergie pour graver des matériaux délicats comme le silicium et l'arséniure de gallium. La combinaison de ces deux sources peut être ajustée pour assurer un bombardement ionique uniforme sur toute la zone de l'étape d'échantillonnage. Le meuleur d'angle oblique est fixé au cadre source et est conçu pour offrir à l'utilisateur une plus grande souplesse dans le choix des angles et des profondeurs de fraisage. Les étapes d'échantillonnage principales peuvent être utilisées avec jusqu'à deux porte-plaquettes. Les porte-plaquettes sont maintenus en place par une machine spéciale de serrage sous vide qui évite efficacement les dommages aux échantillons dus aux vibrations ou aux mouvements. Le cône de collecte est conçu pour s'assurer que les ions provenant de l'étape d'échantillonnage n'agissent pas sur le reste de l'outil. Il est placé directement au centre de la source d'ions et est spécialement conçu pour réduire l'angle de divergence du faisceau d'ions. Le filtre post-ionique est une composante importante de l'actif 600 TMP. Il est chargé d'éliminer les particules ou molécules indésirables telles que poussières, saletés ou molécules contenant du carbone qui pourraient contaminer les échantillons. Le filtre peut être réglé sur une pression et un débit spécifiques qui permettent d'éviter le confinement de particules éventuelles. Enfin, le contrôleur à quatre axes est utilisé pour fournir à l'utilisateur un contrôle complet des poutres, y compris la taille, la forme et l'angle des poutres. Ce niveau de contrôle permet une plus grande précision lors de la gravure des matériaux. Dans l'ensemble, GATAN 600 TMP est un modèle très avancé conçu pour la microfabrication précise et précise de substrats délicats. Il se compose de plusieurs composants qui travaillent ensemble pour permettre à l'utilisateur de créer les produits les plus précis, tout en maintenant un environnement propre et sûr tout au long du processus.
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