Occasion GATAN 645 #70882 à vendre en France

GATAN 645 est un équipement de fraisage ionique avec des capacités de polissage haute résolution. Ce système est composé de quatre modules individuels. Les composants de 645 comprennent une chambre de serrure, une chambre à vide gazéifiée, une colonne de faisceau d'ions, un étage eucentrique, une unité de vide et une machine de commande de faisceau d'ions (GRV). La chambre de serrure est composée d'un cadre en aluminium contenant un panneau avant amovible, avec une porte guidée par rail de chaque côté. Il est conçu pour réduire les changements de pression et est également équipé de joints de porte tournants et coulissants non magnétiques pour maintenir les contaminants hors de la chambre à vide. L'outil GATAN 645 comprend également une chambre à vide effilée, qui est équipée d'un orifice central. L'orifice central permet d'accéder à la chambre de prélèvement qui est remplie d'argon à basse pression de 1 mbar. L'étage eucentrique est monté sur la chambre à vide effilée et sert à faire tourner et incliner l'échantillon. La colonne de faisceau d'ions est conçue pour produire un faisceau uniforme d'ions en contrôlant les paramètres tels que le courant et l'énergie. La colonne est équipée d'un étage X-Y de haute précision, qui sert à contrôler la direction du faisceau et la focalisation. L'actif d'imagerie est également situé à l'intérieur de la chambre à vide. Le modèle IBC est utilisé pour contrôler le faisceau d'ions. Cet équipement comprend un générateur RF et une cellule optique DPF (DPF) pour contrôler l'intensité du faisceau, la taille des taches et le courant du faisceau. Les composants du système d'aspiration sont situés dans l'orifice central et sur la paroi arrière de la chambre de vaccination. 645 est particulièrement adapté à l'amincissement, ce qui implique l'utilisation de faisceau d'ions pour graver des couches minces de matériau, comme l'oxyde de silicium ou d'autres diélectriques, pour créer des microstructures. Il est également utilisé comme outil de polissage pour produire des surfaces lisses sur les métaux, le verre et d'autres matériaux. Le broyage ionique produit une surface uniforme avec une énergie de surface plus élevée, permettant une meilleure adhérence des couches minces. La machine GATAN 645 offre une large gamme de paramètres de fonctionnement, y compris le courant du faisceau, l'énergie du faisceau, la taille des taches et l'angle d'incidence. Cet outil offre donc une gamme flexible de paramètres réglables, permettant d'effectuer avec une grande précision des applications telles que l'amincissement, la gravure et le polissage.