Occasion GATAN 691 PIPS #9075091 à vendre en France
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Vendu
ID: 9075091
Precision ion polishing system
Ion source:
Ion guns: (2) Penning ion guns
Milling angle: +10i to -10i, (adjustable)
Ion beam energy: 1.5 keV to 6 keV
Beam diameter: 350 m FWHM at 5 keV to 800 m FWHM at 5 keV
For broad beam guns
Ion current density: 10mA/cm2 peak
Beam alignment: Precision beam alignment
Specimen stage:
Sample size: 3 mm or 2.3 mm
Mounting: Gatan patented DuoPost (standard) or Graphite holder (optional)
Rotation: Variable from 1 to 6 rpm
Beam modulation: Single or double sector for exceptional cross-sectioning
Viewing: Binocular microscope: 40x or 80x
Vacuum:
Dry pumping system: Molecular drag pump
Pressure:
Base pressure: 5E-6 torr
Operating pressure: 8E-5 torr
Vacuum gauge:
Penning type for main chamber
Solid-state for backing pump
Specimen airlock:
GATAN Whisperlok
Specimen exchange time: <30sec.
GATAN 691 PIPS est un équipement de fraisage ionique conçu pour les installations de nanofabrication. Le broyage ionique est un processus par lequel le matériau est retiré de la surface d'un échantillon à l'aide d'un faisceau d'ions, généralement dans le cadre d'une séquence d'étapes pour créer des caractéristiques avec une résolution au niveau du nanomètre. Ce système a été développé et fabriqué par GATAN, Inc., un fabricant leader de microscopie électronique, d'imagerie et d'instruments d'analyse. 691 PIPS est une unité conviviale adaptée aux applications de traitement par lots à haut débit. Il est bien adapté aux étages de broyage avec de nombreux dispositifs montés sur échantillons, et est capable de positionner un étage d'échantillons à cinq colonnes en un seul mouvement ou un seul échantillon en une série d'étapes. La machine utilise un contrôleur automatisé pour gérer jusqu'à huit canons à faisceau ionique simultanément, ce qui permet de régler facilement le courant de faisceau (le courant de fraisage ionique peut varier de 0 à 15 milliampères) et les angles de faisceau. En outre, l'outil permet l'automatisation du chargement, du déchargement, de l'identité de l'échantillon et des motifs de faisceau exigeants (ainsi que les paramètres spécifiques nécessaires). GATAN 691 PIPS offre une large gamme d'inspections in-situ qui garantit davantage la précision et la reproductibilité lors des opérations de fraisage ionique. Inspections in situ, y compris l'inspection visuelle (des caractéristiques de surface ou de leur absence), la microscopie optique (pour l'examen de la surface de l'échantillon avant et après les processus de broyage), la microscopie électronique secondaire (SEM) et la microscopie électronique à balayage (SEM) afin de permettre une analyse plus approfondie de la surface broyée. L'actif lui-même comprend une chambre à vide robuste, un étage d'échantillonnage optimisé avec une meilleure stabilité de l'échantillon, des moteurs pas à pas réglables pour une localisation précise de l'étage d'échantillon, un scanner mécanique XYZ, un contrôleur de chambre numérique, un automate, un modèle d'alignement automatisé et une variété de pistolets de fraisage ionique pour répondre à une gamme de besoins. L'équipement est conçu avec un port optique pour l'analyse des échantillons, un système de surveillance de la contamination ionique et une unité de distribution de gaz pour une gravure plus rapide des nitrures et un nettoyage de surface. Une variété de fonctions de sécurité et de contrôle de processus sont disponibles, y compris une machine d'alarme sous vide, des systèmes de manutention de gaz inerte, et la décontamination UV. De plus, 691 PIPS sont équipés de diagnostics pour aider à résoudre les problèmes potentiels. GATAN 691 PIPS est considéré comme un choix idéal pour les applications de nanofabrication, offrant une précision, une répétabilité et une facilité d'utilisation supérieures. Ses fonctionnalités automatisées simplifient le processus de fabrication, et son large éventail d'inspections in situ garantissent la précision.
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