Occasion GATAN 691 #9253807 à vendre en France
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GATAN 691 est un équipement de « fraisage ionique », un type de gravure physique utilisé dans la fabrication et l'inspection d'échantillons nanométriques, tels que des dispositifs semi-conducteurs. Le système comprend une source d'ions, une alimentation électrique, une chambre à vide, divers concentrateurs de faisceaux et un logiciel d'automatisation numérique. L'unité est capable de performances de précision jusqu'à 0,1 nanomètres de précision. Il est capable de graver jusqu'à une profondeur de 150 nanomètres et est l'un des systèmes de fraisage ionique les plus précis et fiables disponibles. 691 est construit en acier inoxydable durable et d'autres matériaux résistant à la rouille, conçu pour assurer un fonctionnement fiable à long terme. Les composants de base de la machine sont les deux sources d'ions, un césium et un krypton. Le césium est la source principale, avec son courant important et sa densité d'énergie qui se traduit par une gravure plus rapide. Le neutraliseur à faibles particules de l'outil permet également des performances de vitesse de gravure plus élevées. La source de krypton est utilisée pour des applications de broyage et d'imagerie à plus haute énergie. Les deux sources sont logées dans une chambre à vide avec un actif de refroidissement élaboré et divers concentrateurs de faisceau. La conception garantit un fonctionnement fiable et des performances maximales. GATAN 691 est alimenté par une alimentation à courant continu de 400 watts et est commandé par automatisation numérique et logiciel. Un panneau de contrôle automatisé est inclus pour programmer et surveiller les performances du modèle, avec l'équipement capable d'analyser les plaquettes et les échantillons multi-masqués. Un large éventail de routines d'imagerie et d'analyse peut également être effectué par le système. Il s'agit notamment de la spectroscopie à rayons X, de la cartographie de la surface du faisceau de rayons X, de l'analyse mécanique, de la spectroscopie optique mini-intégrée de réflectance, etc. Cette large gamme d'outils d'analyse en fait le choix idéal pour l'assurance qualité dans la fabrication de dispositifs nanométriques. Enfin, des dispositifs de sécurité sont intégrés pour assurer une protection contre les risques potentiels associés au fraisage ionique. Cela comprend une unité de sécurité autostop qui coupe automatiquement l'alimentation en cas d'urgence. D'autres systèmes de sécurité embarqués mesurent et maintiennent la pression de vide de la machine ainsi que la prévention des faisceaux d'ions errants accidentels. En résumé, 691 est l'un des systèmes de fraisage ionique les plus fiables et précis disponibles. Il est capable de graver des échantillons à l'échelle nanométrique avec une grande précision et offre un large éventail de routines d'analyse et d'imagerie pour assurer l'assurance de la qualité dans la production de dispositifs à l'échelle nanométrique. Sa multitude de dispositifs de sécurité assure également le plus haut niveau de protection à l'utilisateur et à l'outil lui-même.
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