Occasion GATAN 697 #9202471 à vendre en France
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Vendu
ID: 9202471
Precision ion polishing system
Ilion II system
Broad beam argon milling system
Whisperlok system: Ability to load / Unload samples
Milling angle: +/- 10 degrees
Milling rate on silicon at 8.0kV: 300um/hr
Low energy focusing penning ion guns
Variable energy: 0.1 to 8.0kV
Ion source:
Ion guns: Two penning with rare earth magnets
Milling angle: +10 to -10°
Ion beam energy: 0.1 - 8.0kV
Ion current density peak: 10(A/cm²)
Beam diameter: Adjustable using gas flow controller / Discharge voltage
Specimen stage:
Mounting: i=Ilion patented blaae
Rotation: 0.5-6.0 RPM
Beam modulation: Single / Double with adjustable range / No modulation
Vacuum:
Dry pumping system: Two stages diaphragm pump backing a 80L/s turbo drag pump
Pressure (torr):
Base: 5 x 10^-6
Operating: 8 x 10^-5
Vacuum gauge: Cold cathode type
Specimen airlock: Whisperlok, specimen exchange time <1 min
User interface:
10" Color touch screen: Simple operation with complete control / Recipe operation
Options:
Certain llion+ II models includes
Llion+ II digital zoom microscope:
Microscope assembly
Digital camera with USB cable / Trigger cable
Imaging PC
Ethernet cable
USB Cable connected to the camera
Power consumption (W):
During operation: 200
Guns off: 100
Argon gas: 25 psi
Power requirements: 100/240 VAC, 50/60 Hz
Manuals included.
GATAN 697 est un équipement de fraisage ionique développé par GATAN Company. Ce système est conçu pour usiner des caractéristiques à l'échelle du micron dans une variété de substrats, y compris les semi-conducteurs, les métaux, la céramique et les polymères. Il utilise des faisceaux ioniques de haute énergie pour éloigner le matériau du substrat de manière précise et contrôlée. 697 utilise une source d'ions à haut flux, une unité de collimation, une machine de découpage de faisceau et une lentille d'extraction d'ions pour générer un faisceau d'ions focalisé à haute énergie. Le faisceau d'ions est ensuite dirigé sur la surface du substrat pour produire une variété de procédés tels que la gravure, l'ablation, la pulvérisation ou le dépôt. Le faisceau d'ions peut être programmé avec précision pour broyer des caractéristiques et des structures micro-échelle dans le substrat. GATAN 697 est contrôlé par un logiciel unique appelé GATAN Control. Ce logiciel permet aux utilisateurs de programmer l'outil pour mouler n'importe quel substrat à n'importe quel angle ou motif désiré. Il permet un usinage précis et reproductible de structures et de formes complexes en permettant un contrôle précis du faisceau d'ions. 697 est conçu avec des mesures de sécurité robustes. Ces caractéristiques comprennent un actif d'arrêt automatique qui s'activera lorsque le faisceau d'ions monte à un niveau dangereux, ainsi que l'arrêt automatique dû à une défaillance mécanique. GATAN 697 est idéal pour l'usinage à l'échelle micron de substrats pour des applications de recherche et de production. Il fournit des résultats très précis et reproductibles avec une usure minimale de la source et des composants ioniques. Ce modèle est fiable et économique pour produire des caractéristiques à l'échelle du micron dans une variété de substrats.
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