Occasion LAM STRATA-3 #9311457 à vendre en France

LAM STRATA-3 est un équipement de fraisage ionique qui permet aux chercheurs de produire des films diélectriques, métalliques ou semi-conducteurs avec une excellente uniformité d'épaisseur dans un procédé fiable et reproductible. Il est idéal pour les processus de pulvérisation pulsée RF et DC. Ce système est conçu pour produire des motifs, des encoches ou des vias avec des rapports d'aspect supérieurs à 0,15 : 1, où la largeur via/ouverture est supérieure à l'épaisseur via/ouverture. Il a deux sources d'ions différentes : une source d'ions à haut courant de 30 + kV et une source d'ions à haut courant continu. Il comprend également une unité de détection intégrée qui aide à contrôler avec précision la pulvérisation ionique. STRATA-3 fraiseuse ionique est constituée d'une chambre de traitement, d'un transfert d'échantillons, d'une vanne de grille et d'une vanne d'échappement. La chambre de procédé est une chambre à vide en aluminium et en acier inoxydable et peut être utilisée pour pulvériser jusqu'à 6 pouces de plaquettes avec des températures de substrat allant de -260 ° C à + 263 ° C Il est bien adapté pour le dépôt de couches de graines de diélectrique, de barrière de diffusion et de cuivre, ainsi que pour d'autres procédés tels que la gravure plasma. Le transfert d'échantillons est un outil de transfert automatisé pour un contrôle efficace du processus de fraisage ionique. Il comprend un moniteur de température avec chauffe réglable pour contrôler la température du substrat. Enfin, la grille et les soupapes d'échappement permettent un contrôle précis de la pression de l'actif. Le modèle de fraisage ionique LAM STRATA-3 permet aux utilisateurs de créer divers modèles et caractéristiques difficiles ou impossibles à réaliser avec d'autres techniques de gravure. Cet équipement permet un contrôle précis du processus de gravure pour atteindre la morphologie de profil souhaitée, et fournit également une plus grande profondeur de fonctionnalité. De plus, le contrôle de précision de la profondeur de gravure aide les ingénieurs en matériaux à s'assurer que le film mince peut résister à l'environnement spécifique désiré. Parmi les principales caractéristiques de ce système figurent des vitesses de gravure rapides allant jusqu'à 2000 μ m/h, la reproductibilité des profils de gravure de niveau micron et un contrôle précis des profondeurs et des dimensions de gravure. En outre, il comporte un module ajouté pour la source d'ions à arc haute tension de 30 + kV qui peut être utilisé pour pulvériser sans la vanne de grille.