Occasion NANO-MASTER NIE 4000 #9182949 à vendre en France
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ID: 9182949
Style Vintage: 2016
Ion beam etching system, 14.5"
Physical etching with accelerating Ar ions
Patterned with thick resist for masking
Energetic ion flux during etching overheats:
Substrate
Resist
Substrate temperature: <50°C
SS Cube ion beam chamber
DC Ion gun: 12 cm, 1000 V, 500 mA
DC Motor driven: SS Shutters
Ion beam neutralizer
Ar MFC
Chilled water cooled: Substrate platen, 6"
Wafer rotation: 3-10 RPM
Vacuum stepper motor
Wafer tilt with stepper motor
Pumped rotational seal
Manual / Automatic wafer: Load / Unload
Typical etch rates:
Cu: 20 nm/min
Si: 50 nm/min
Etch uniformity: +/- 5% over 4" area
Turbo pump:
Base pressure with 500 1/sec:
5 x 10-6 Torr < 20 minutes < 2 x 10-7 Torr
Base pressure with 1000 1/sec: 8 x 10-8 Torr
Protect etched metal surfaces from oxidation
Recipe driven
Password protected
Safety interlocked
Missing part: Foreline pump
2016 vintage.
NANO-MASTER NIE 4000 est un équipement de fraisage ionique conçu pour fournir des données de haute précision et des débits de surface élevés. En utilisant un faisceau d'ions focalisés (FIB), NIE 4000 crée des structures et des matériaux nanométriques à partir de divers substrats. La machine dispose d'un design compact de haute qualité, y compris deux chambres intégrées qui peuvent accueillir une grande variété de tailles d'échantillons. Le système NANO-MASTER NIE 4000 se compose d'une unité de refroidissement à azote liquide, d'une unité opérationnelle contrôlée par ordinateur et d'une chambre où le faisceau d'ions est créé et focalisé. Au centre de la machine se trouve la source d'ions, où le FIB est généré. Ce faisceau d'ions de haute précision est capable de créer des nanostructures ultra-fines à partir de divers matériaux, y compris des métaux et des substrats en couches minces. Une unité de conditionnement de gaz entièrement automatisée aide à fournir des données de la plus haute qualité en éliminant les contaminants résiduels de l'échantillon. NIE 4000 permet un contrôle précis de l'énergie du faisceau d'ions, du courant du faisceau et de la focalisation. Cela permet une fabrication polyvalente avec une précision exacte. Grâce à son progiciel spécialisé, NANO-MASTER NIE 4000 peut également être utilisé pour l'imagerie, le profilage de profondeur de précision et la modélisation. De plus, les interfaces utilisateur permettent la surveillance, l'automatisation et le contrôle utilisateur. Il est ainsi facile de personnaliser un programme pour répondre aux besoins spécifiques de fabrication de l'utilisateur. La lentille électrostatique intégrée de NIE 4000 offre une plus grande distance de travail, ce qui contribue à réduire la pénétration ionique. De plus, son grand étage d'échantillonnage permet de manipuler plus d'échantillons en une seule fois. Son outil opérationnel informatisé amélioré garantit des données précises et cohérentes à l'échelle du nanomètre. NANO-MASTER NIE 4000 est un atout idéal pour la fabrication de nanomatériaux de précision. Sa technologie FIB de pointe et son ingénierie de haute précision offrent des performances et une précision supérieures. NIE 4000 permet une plus grande personnalisation, précision et vitesse, ce qui en fait un choix idéal pour ceux qui recherchent une solution avancée de fraisage ionique.
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