Occasion OXFORD Ionfab 300 Plus #293815692 à vendre en France
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ID: 293815692
Taille de la plaquette: 6"
Ion Beam Etching (IBE) System, 6"
Materials: Au, Cr, Ta, Al, Fe, Co, Boron and Silicon
Process: IBE
Gas supply system including MFCs
(2) AR Gas lines
Ion source diameter: 35 cm
Single wafer capability
Load lock
Auto loader
Tiltable substrate holder angle: −90° to +35° (0° = vertical, 0° incidence angle)
Wafer backside cooling
No WLOM
Endpoint monitoring
Dry scroll pump
Small turbo molecular pump
Rotary vane pump
Turbo molecular pump
No chiller
Operating system: Windows XP
Power supply: 3000 W.
OXFORD Ionfab 300 Plus est un équipement de fraisage ionique conçu pour des applications de haute précision telles que la planarisation de surface, la nanopatterning et la gravure métallique. Il est équipé d'une source d'ions bi-faisceau haute fréquence et haute énergie, qui assure la pulvérisation chimique et physique. Le système dispose également d'une variété de pompes rotatives multi-étages et de systèmes de filtration pour un fonctionnement propre et une fiabilité à long terme. Ionfab 300 Plus dispose d'une unité d'injection de gaz à 6 cibles, qui fournit une programmabilité précise gaz/composition cible, une caméra couleur haute résolution, et une machine de contrôle complète avec des options à la fois manuelles et contrôlées par ordinateur. La source d'ions à double faisceau haute fréquence peut atteindre un large éventail de paramètres du procédé de pulvérisation, y compris les taux de gravure, les taux de dépôt et la reproductibilité du procédé. Le faisceau d'ions offre une excellente qualité de finition de surface avec des résidus de surface minimisés et des effets de surface minimisés. OXFORD Ionfab 300 Plus est équipé d'un outil de contrôle très sophistiqué qui est capable de contrôler et de surveiller avec précision les processus de pulvérisation. Cet atout permet de programmer une grande variété de paramètres de processus, y compris la température du substrat, les niveaux de puissance du générateur RF, l'alignement du faisceau et les différences de pression. Le modèle automatisé peut également être utilisé pour des recettes de processus complexes avec intervention manuelle. En termes de sécurité et d'environnement, l'Oxonfab 300 Plus est conçu avec une source d'émission faible, un bruit minimal et de faibles niveaux de vibration. Elle est également certifiée conforme aux exigences de l'Union européenne en matière de santé et de sécurité et est conforme à la directive RoHS. En outre, l'équipement est couvert par une garantie de trois ans et est évalué pour le fonctionnement dans une plage de température de 30 ° C à 95 ° C. Dans l'ensemble, Ionfab 300 Plus est un système de fraisage ionique leader dans l'industrie capable de produire des résultats impeccables avec un contrôle et une répétabilité précis. Il est conçu pour répondre à des applications de haute précision telles que la planarisation de surface, le nanopatterning et la gravure métallique. L'unité est également conforme aux règles de santé et de sécurité et est couverte par une garantie de trois ans pour une tranquillité d'esprit supplémentaire.
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