Occasion VEECO RF 350S #293791454 à vendre en France
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ID: 293791454
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
Ion beam system, 8"
BROOKS AUTOMATION 003-9010-03
BROOKS AUTOMATION 001-2980-64
BROOKS AUTOMATION 001-7500-02 Robot
LEYBOLD HERAEUS TMP 260U Turbo pump
LEYBOLD HERAEUS TMP 260SG Turbo pump
LEYBOLD HERAEUS TMP 361C Turbo pump
Process module station 2:
Process: Ion beam etch
PFEIFFER / BALZERS TPH 2200U Turbo pump
RFPP RF20M RF Generator
SPELLMAN SL 1200 Power supply
SPELLMAN SL 300 Power supply
SORENSON DCS60-18E Power supply
SORENSON DCS600-1.75E PBN Power supply
MKS CT27A12TBC810 Pressure gauge
CONVECTRON Type 685
VAT 14048-PE44-AAL1/0014 Isolation valve
NESLAB HX-150 Chiller
Gas boxes:
Gas 1: Ar, 50 SCCM
Gas 2: O2, 50 SCCM
1999 vintage.
VEECO RF 350S est un équipement de broyage ionique de pointe conçu pour la gravure de précision et l'enlèvement de matériaux dans les industries des semi-conducteurs, de l'optique et de la recherche. Cet équipement de pointe allie technologie de pointe et construction robuste pour fournir des capacités de fraisage ionique haute performance pour un large éventail d'applications. VEECO RF 350 S utilise la technologie du faisceau d'ions pour enlever sélectivement le matériau de la surface des substrats avec une précision et un contrôle élevés. Le système génère un faisceau d'ions à haute énergie qui bombarde la surface de l'échantillon, pulvérisant des atomes et des molécules pour obtenir une gravure et une gravure précises. Ce procédé permet la fabrication de films ultra-minces, de surfaces lisses et de motifs complexes à résolution sub-micron. Une des caractéristiques clés de RF 350S est sa source d'ions plasma RF avancée, qui permet un contrôle précis des paramètres du faisceau d'ions tels que l'énergie, la densité et la directionnalité. Cela permet de personnaliser les caractéristiques du faisceau d'ions en fonction des propriétés spécifiques du matériau et des exigences de gravure. L'unité dispose également d'une chambre à vide haute avec contrôle précis de la température pour créer des conditions optimales pour les processus de fraisage ionique. Le RF 350 S est équipé d'un étage d'échantillons polyvalent pouvant accueillir différentes tailles et formes de substrat, permettant une flexibilité dans la préparation et le traitement des échantillons. La machine supporte à la fois les modes de traitement par lots et par substrat unique, permettant des applications de fabrication et de recherche à haut débit. De plus, l'étage d'échantillonnage peut tourner et basculer pour obtenir une gravure et une couverture uniformes sur toute la surface du substrat. Pour un contrôle et une surveillance précis des processus, VEECO RF 350S est équipé de logiciels avancés et de capacités d'automatisation. Les utilisateurs peuvent programmer et séquencer les processus de fraisage ionique, définir des paramètres pour l'énergie et le flux du faisceau d'ions, et surveiller les données de processus en temps réel pour assurer des résultats cohérents et reproductibles. L'outil comprend également des fonctions de sécurité intégrées et des diagnostics pour prévenir les erreurs et optimiser la performance des actifs. En plus de ses capacités de fraisage ionique primaires, VEECO RF 350 S peut être équipé d'accessoires optionnels pour une fonctionnalité améliorée. Il s'agit notamment d'outils de métrologie in situ pour la surveillance des processus en temps réel, de systèmes d'injection de gaz pour la gravure ionique réactive et de chambres de verrouillage de charge pour l'échange rapide d'échantillons. Ces accessoires élargissent encore les capacités du modèle et permettent une plus large gamme de techniques de traitement. Dans l'ensemble, les équipements de fraisage ionique RF 350S offrent une technologie de pointe, un contrôle de précision et une polyvalence pour un large éventail d'applications dans les secteurs des semi-conducteurs, de l'optique et de la recherche. Avec ses fonctionnalités avancées, ses paramètres de faisceau ionique personnalisables et ses capacités d'automatisation, le RF 350 S est un outil puissant pour obtenir une gravure précise, un dépôt de couches minces et une modification de surface avec une précision et une répétabilité élevées.
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