Occasion VEECO VS 300 #70878 à vendre en France

VEECO VS 300 est un équipement de broyage ionique pour structurer des profils à haut rapport d'aspect dans des matériaux inorganiques comme les métaux et la céramique. Il est conçu pour le traitement de matériaux tels que micropatterning et micromachining dans la fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs à couches minces. Le système est composé de quatre composants principaux, la source de faisceau d'ions, le scanner, la boîte à gaz et la chambre à vide. La source de faisceau d'ions produit un potentiel de haute tension destiné à l'échantillon pour libérer des ions de la surface de l'échantillon dans le vide de la chambre. Les ions bombardent la zone de l'échantillon ciblé en diminuant sa surface, ce qui laisse le motif désiré ou les caractéristiques gravées. La machine à scanner assure un positionnement précis et reproductible du faisceau d'ions sur l'échantillon. Cet outil se compose de scanners galvanométriques et d'une lentille de focalisation pour contrôler la déviation de la trajectoire du faisceau d'ions. La boîte à gaz fournit un environnement contrôlé pour délivrer différents gaz nécessaires pour créer des gravures sur le substrat. Les gaz sont ensuite ionisés et générés sous forme de plasma qui pénètre ensuite dans la chambre à vide. La chambre à vide est étanche, à l'exception de la fenêtre de la chambre, qui permet de visualiser l'échantillon et est reliée à une cryopump, pour maintenir un vide associé aux ions et au substrat pour une bonne ablation du matériau. Le VS 300 est conçu pour la gravure de substrats allant des métaux, des semi-conducteurs, de la céramique aux couches minces. Il a un potentiomètre de tension de faisceau avancé installé sur sa chambre qui permet les conditions de processus optimisées associées au matériau spécifique en cours de traitement. Il est capable de faire des tailles de fonctionnalités de 10nm à 10µm et d'atteindre des rapports d'aspect jusqu'à 5:1. La taille du motif peut également être ajustée et reproduite rapidement avec répétabilité et précision. Cet atout offre également des fonctionnalités supplémentaires telles que le protocole Model X +, le protocole Align X, un champ généré et ciblé à l'aide de conseils externes et un générateur de motifs. Dans l'ensemble, VEECO VS 300 est un équipement de fraisage ionique fiable, reproductible et précis. C'est un choix idéal pour la gravure anisotrope et le broyage de caractéristiques de haut rapport d'aspect dans des matériaux comme les métaux et la céramique. Le système est un choix optimal pour une variété de fabrication d'appareils, de traitement de couches minces et d'applications MEM.